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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

Editor-in-Chief: Zagar, Bernhard / Puente León, Fernando

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Strahler-Empfänger-Baugruppen zur Messung von Streulicht — eine Alternative zu Partikelzählern?

Ralf Müller* / Olaf Brodersen1

1 CiS Forschungszentrum für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Erfurt, Deutschland

* Correspondence address: CiS Institut für Mikrosensorik GmbH, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt,

Citation Information: tm - Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik. Volume 78, Issue 10, Pages 448–456, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: 10.1524/teme.2011.0144, October 2011

Publication History

Published Online:
2011-10-26

Zusammenfassung

Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme (MOEMS) setzen sich in der Sensorik immer mehr durch. In diesem Zusammenhang werden planare Strahler-Empfänger-Baugruppen mit Siliziumfotodioden, vertikal emittierendem Laser und integrierter Mikrooptik zur Messung von Partikelanzahlkonzentrationen in Flüssigkeiten vorgestellt. Zwei unterschiedliche Varianten des Sensors, mit und ohne Mikrooptik zur Formung der Primärstrahlung, werden miteinander verglichen. In dieser Arbeit wird durch Experimente gezeigt, dass für die Anordnung mit Mikrooptik eine deutlich verbesserte Sensitivität erreicht werden kann.

Abstract

Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems (MOEMS) become widely accepted in sensor technology. In this context planar emitter-receiverdevices with silicon photodiodes vertical emitting laser, and integrated micro-optics to measure the concentration of particles in fluids are presented. Two different variations of the sensor, with and without micro-optics to shape the primary light, are compared. The arrangements with integrated micro-optics achieve a clearly increased sensitivity. This is demonstrated by experiments.

Keywords: optic-electronic sensor; particle measurement; turbidity measurement; subsurface scattering; micro-optics

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