Interferometrischer Liniensensor zur Formmessung von rotationssymmetrischen optisch glatten Oberflächen

Sören Laubach 1 , Gerd Ehret 1 , Peter Lehmann 2 ,  and Jörg Riebeling 2
  • 1 Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany
  • 2 Universität Kassel, Wilhelmshöher Allee 71, 34121 Kassel, Germany

Zusammenfassung

Es wird ein neuartiges Formmesssystem basierend auf einem interferometrischen Liniensensor vorgestellt. Der Liniensensor wird mit einem Bewegungssystem so nachgeführt, dass die Beleuchtungsstrahlen möglichst senkrecht zur Prüflingsoberfläche stehen. Das linienbasierte Formmesssystem bietet die Möglichkeit einer schnellen und flexiblen Messung. In den Überlappbereichen sind redundante Informationen enthalten, die zu einer genaueren Auswertung führen als bei einem Punktsensor. Die Formmessung mit Punktsensoren ist langsam, und die Genauigkeit ist durch das Bewegungssystem limitiert, da die Bewegungsachsen systematische und zufällige Führungsfehler haben. Diese Führungsfehler können nicht ohne Weiteres eliminiert werden und führen deshalb zu einer erhöhten Messunsicherheit bei der Formmessung. Bei vollflächig messenden Systemen werden i. Allg. sehr große Optiken benötigt, die mit hohen Kosten verbunden sind. In diesem Beitrag wird der Aufbau des linienbasierten Systems und exemplarisch einige Messergebnisse vorgestellt.

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