Messen von asphärischen Linsenformen mittels räumlicher Kohärenz

André F. Müller 1 , Claas Falldorf 1 , Gerd Ehret 2 ,  and Ralf B. Bergmann 1
  • 1 BIAS – Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH, Klagenfurter Str. 5, Bremen, Germany
  • 2 Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Bundesallee 100, Braunschweig, Germany
André F. Müller
  • 501274BIAS – Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH, Klagenfurter Str. 5, 28359, Bremen, Germany
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  • André F. Müller hat 2019 seinen Masterabschluss in Physik an der Universität Bremen gemacht. Seine Forschungsschwerpunkte sind kohärente Optik und optische Messtechnik. In seiner Masterarbeit hat er sich mit Methoden zur Analyse teilkohärenter Wellenfelder auf Basis der Multiple Aperture Shear Interferometry beschäftigt.
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, Claas Falldorf
  • Corresponding author
  • 501274BIAS – Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH, Klagenfurter Str. 5, 28359, Bremen, Germany
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  • Dr. Claas Falldorf hat an der Uni Bremen Physik studiert und wurde dort im Fachbereich Physik und Elektrotechnik 2009 promoviert. Er leitet seitdem die Gruppe „Kohärente Optik“ am Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS). Seine Forschungsschwerpunkte sind Optische Messtechnik, Kohärenztheorie und Lichtformung in Verbindung mit Methoden der Signalverarbeitung und Optimierungstheorie.
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, Gerd Ehret
  • 39428Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Bundesallee 100, 38116, Braunschweig, Germany
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  • Dr. Gerd Ehret leitet die Arbeitsgruppe „Ebenheitsmetrologie“ an der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB). Seine Forschungsaktivitäten umfassen die Gebiete Ebenheitsmetrologie, Formmetrologie, Wellenfrontmetrologie, Lichtmikroskopie, Scher-Techniken und rigorose Modellierung optischer Systeme.
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and Ralf B. Bergmann
  • 501274BIAS – Bremer Institut für angewandte Strahltechnik GmbH, Klagenfurter Str. 5, 28359, Bremen, Germany
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  • Prof. Dr. Ralf B. Bergmann studierte in Heidelberg und Freiburg Physik, promovierte mit einer Arbeit am Max-Plank-Institut für Festkörperforschung (MPI-FKF) an der Uni Stuttgart, arbeitete als Postdoc an der Univ. of New South Wales und habilitierte sich an der Uni Freiburg. Nach weiteren Forschungen am MPI-FKF und der Uni Stuttgart leitete er eine Abteilung in der zentralen Forschung und Vorausentwicklung der Robert Bosch GmbH und später im Geschäftsbereich Automobilelektronik. Seit 2008 ist er Professor an der Uni Bremen und Institutsleiter am Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS) mit dem Gebiet „Optische Messtechnik und optoelektronische Systeme“.
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Zusammenfassung

Wir zeigen den Vergleich zweier interferometrischer Verfahren zur Formprüfung anhand einer Messung an einer Zylinderlinse. Das erste Verfahren, die Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), basiert auf der Messung der Kohärenzfunktion mittels eines Scher-Interferometers. Es erlaubt interferometrische Messungen unter gleichzeitiger Verwendung mehrerer unabhängiger und teilkohärenter Lichtquellen, und ermöglicht so eine flexible, an den Prüfling anpassbare Ausleuchtung. Als Vergleichsverfahren kommt die Computational Shear Interferometry (CoSI) zur Messung von Wellenfronten zum Einsatz. Da beide Messverfahren auf einem Scher-Interferometer basieren, ist ein direkter Vergleich unter identischen Umgebungsbedingungen möglich.

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