D. Hofmann, J. Göbel, W.-D. Münz, M. Scherer and B. Hensel

Die Abscheidung von Nitrid- und Carbid-Hartstof fschichten zu Verschleißschutzzwecken und für andere Anwendungen mittels „Sputter-Ion-Plating"-Verfahren

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De Gruyter | Published online: April 17, 2021