Rie, K.-T., Lampe, Th. and Eisenberg, St.. "Abscheidung von Titannitridschichten mittels Plasma-CVD"
HTM Journal of Heat Treatment and Materials, vol. 42, no. 3, 1987, pp. 153-159.
https://doi.org/10.1515/htm-1987-420310
Rie, K., Lampe, T. & Eisenberg, S. (1987). Abscheidung von Titannitridschichten mittels Plasma-CVD.
HTM Journal of Heat Treatment and Materials,
42(3), 153-159.
https://doi.org/10.1515/htm-1987-420310
Rie, K., Lampe, T. and Eisenberg, S. (1987) Abscheidung von Titannitridschichten mittels Plasma-CVD. HTM Journal of Heat Treatment and Materials, Vol. 42 (Issue 3), pp. 153-159.
https://doi.org/10.1515/htm-1987-420310
Rie, K.-T., Lampe, Th. and Eisenberg, St.. "Abscheidung von Titannitridschichten mittels Plasma-CVD"
HTM Journal of Heat Treatment and Materials 42, no. 3 (1987): 153-159.
https://doi.org/10.1515/htm-1987-420310
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