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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by De Gruyter April 17, 2021

Abscheidung von Titannitridschichten mittels Plasma-CVD

K.-T. Rie, Th. Lampe and St. Eisenberg
Online erschienen: 2021-04-17
Erschienen im Druck: 1987-05-01

© 2021 by Walter de Gruyter Berlin/Boston