Chromsäure-Flußsäure als spezifisches System zur Ätzgrubenentwicklung auf Silizium

Erhard Sirtl; Annemarie Adler

doi:10.1515/ijmr-1961-520806

Published by De Gruyter July 27, 2021

Chromsäure-Flußsäure als spezifisches System zur Ätzgrubenentwicklung auf Silizium

Erhard Sirtl and Annemarie Adler

From the journal International Journal of Materials Research

https://doi.org/10.1515/ijmr-1961-520806

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Published Online: 2021-07-27

Published in Print: 1961-08-01

Chromsäure-Flußsäure als spezifisches System zur Ätzgrubenentwicklung auf Silizium

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