Accessible Requires Authentication Published by De Gruyter May 27, 2021

Anwendung der Rasterelektronenmikroskopie und der Transmissionselektronenmikroskopie in der Halbleiterindustrie / Application of Scanning Electron Microscopy and Transmission Electron Microscopy in Semiconductor Industry

E. Zschech, E. Langer and H.-J. Engelmann
From the journal Practical Metallography