Abstract
Glass substrates are playing an increasingly important role in the production of microchips. This paper will demonstrate the potential of scanning acoustic microscopy (SAM) used for the characterization of laser-welded structures in thin glass slides. Structures within the volume of a glass sample can be imaged quickly and with high accuracy using this method. In particular, it should be noted that not only the depth information, but also the height profile of the structures can be obtained from ultrasonic cross-sectional images. Measurements only take a few minutes. While certain structures can be visualized in 3D using ultrasonic Time-of-Flight (ToF) measurements, current research is focusing on the 3D representation of more general structures based on the Synthetic Aperture Focusing Technique (SAFT).
Kurzfassung
Glassubstrate spielen in der Mikrochipfertigung eine zunehmend wichtige Rolle. In diesem Beitrag wird das Potential der UltraschallRastermikroskopie zur Charakterisierung von Laserschweißstrukturen in dünnen Glasobjektträgern beschrieben. Strukturen im Innern des Glasvolumens können mit dieser Methode schnell und mit hoher Genauigkeit dargestellt werden. Besonders hervorzuheben ist, dass auch die Tiefenlage und das Höhenprofil der Strukturen mittels Ultraschall-Querschnittsbildern ermittelt werden können. Die Messungen dauern nur wenige Minuten. Eine dreidimensionale Darstellung mittels Ultraschall – ToF ist für bestimmte Strukturen realisierbar. An einer 3D-Darstellung für allgemeine Strukturen wird mittels Synthetischer Aperture Fokusing Technique (SAFT) derzeit gearbeitet.
About the authors
Eduard Benz 
Since 2019 Aalen University of Applied Sciences; Research Assistant/ non-destructive testing engineer; Laboratory for Scanning Acoustic Microscopy Studies: 2018-2019 Aalen and Esslingen University of Applied Sciences: Applied Surface and Materials Sciences; 2013-2017 Jena University of Applied Sciences: Materials Engineering (B.Eng.)
Prof. Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Silvia Schuhmacher 
Since 2005 Professor at Aalen University, Work Area Nondestructive Testing Methods; 1998-2005 DB Systemtechnik, Project-Manager in Nondestructive Testing of Wheels and Rails; 1998 PhD at University of Saarbrücken and Fraunhofer IZFP; Doctorate on a Topic from Computer Simulation of Ultrasonic Testing Methods
References / Literatur
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