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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag January 31, 2014

Novel technology for high precision, fast non-contact asphere metrology

Neues Verfahren zur hochpräzisen kontaktlosen Vermessung von Asphären
Gernot Berger

(Product Manager, CSO)

Luphos GmbH, Weberstr. 21, 55130 Mainz, Germany, Tel.: +49 6131 24059 0, Fax: +49 6131 24059 66

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and Jürgen Petter

(CEO)

Luphos GmbH, Weberstr. 21, 55130 Mainz, Germany, Tel.: +49 6131 24059 0, Fax: +49 6131 24059 66

From the journal tm – Technisches Messen

Abstract

A method for non-contact optical profiling of aspheric surfaces is presented, which is based on multi wavelength interferometry (MWLI). The method yields high density 3D data at high accuracies in short measurement times. It measures aspheres without restrictions in terms of spherical departures. In addition, measurement of a large variety of special optics is enabled, segmented, ground, and discontinuuos optics. The measurement instrument can be used under production conditions.

Zusammenfassung

Es wird ein Verfahren zur berührungslosen optischen 3D Profilmessung von asphärischen Oberflächen vorgestellt, das auf Multi-Wellenlängen-Interferometrie (MWLI) basiert. Die Technologie liefert große Datendichten in kurzen Messzeiten bei hoher Formmessgenauigkeit. Es können Asphären ohne Einschränkungen bzgl. der sphärischen Abweichung, sowie eine Vielzahl von speziellen Optiken, wie z. B. segmentierte, raue und diskontinuierliche Linsen, vermessen werden. Das Messgerät kann unter Produktionsbedingungen eingesetzt werden.

About the authors

Gernot Berger

(Product Manager, CSO)

Luphos GmbH, Weberstr. 21, 55130 Mainz, Germany, Tel.: +49 6131 24059 0, Fax: +49 6131 24059 66

Jürgen Petter

(CEO)

Luphos GmbH, Weberstr. 21, 55130 Mainz, Germany, Tel.: +49 6131 24059 0, Fax: +49 6131 24059 66

Received: 2013-11-8
Accepted: 2013-11-14
Published Online: 2014-1-31
Published in Print: 2014-2-28

©2014 Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 7.12.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1515/teme-2014-1005/html
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