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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag November 4, 2014

Super-Photolumineszenz-Effekte in GaN-Schichten bei erhöhter Temperatur

Super-photoluminescence-effects in GaN-layers at elevated temperature
Christoph Prall

M. Sc. Christoph Prall arbeitet seit Februar 2011 am Institut für Mess- und Sensortechnik der Hochschule Ruhr West. Seine Schwerpunkte liegen in der berührungslosen optischen Messtechnik, insbesondere der Photolumineszenz-Spektroskopie, in der er als Projektmitarbeiter in einem Forschungskooperations-Projekt zwischen der Hochschule Ruhr West und der LayTec AG tätig ist.

Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254408, Fax: +49-208-88254419

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, Ingo Noevermann

B. Sc. Ingo Noevermann ist Student des Masterstudiengangs – Systemtechnik – und unterstützt parallel die Arbeiten der Photolumineszenz-Spektroskopie an der Hochschule Ruhr West, zu dessen Thema er auch seine Abschlussarbeit im Studiengang B.Sc. Elektrotechnik verfasst hat (Photolumineszenzeffekte an Halbleiterkristallen).

Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254408, Fax: +49-208-88254419

and Dirk Rueter

Prof. Dr. Dirk Rueter lehrt seit 2010 am Institut Mess- und Sensortechnik der Hochschule Ruhr West in den Fachgebieten Bauelemente und Optoelektronik. Die Forschungsgebiete von Herrn Prof. Dr. Dirk Rueter liegen in der berührungslosen Messtechnik durch elektromagnetische, optische sowie Ultraschall-Verfahren. Er ist Projektleiter eines Forschungskooperations-Projekts zum Thema Photolumineszenzspektroskopie zwischen der Hochschule Ruhr West und der LayTec AG.

Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254388, Fax: +49-208-88254419

From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

LEDs gelten als umweltfreundliche Beleuchtungstechnik. Für die Massenanwendung arbeiten die LED-Hersteller an einer Senkung der Kosten bzw. einer Erhöhung der Ausbeute, insbesondere bei der aufwendigen LED-Kristallbeschichtung auf den Wafern. Während der Beschichtung (MOCVD) werden optische In-situ-Messgeräte zur Überwachung des Prozesses genutzt. Die hier vorgestellte Untersuchung beschäftigt sich mit dem Einfluss von Super-Photolumineszenz-Effekten bei einer möglichen In-situ-Prozesskontrolle in der MOCVD.

Abstract

LEDs are well known as environment-friendly lighting technology. The LED manufacturers are working on cost reduction and increased efficiency for mass implementation. Particularly the complex and crystalline LED layers on the wafers are critical. During the coating process (MOCVD) optical in-situ measuring instruments are used for monitoring the process. The present study investigates the influence of super-photoluminescence effects on a possible in-situ process control in the MOCVD.

Über die Autoren

Christoph Prall

M. Sc. Christoph Prall arbeitet seit Februar 2011 am Institut für Mess- und Sensortechnik der Hochschule Ruhr West. Seine Schwerpunkte liegen in der berührungslosen optischen Messtechnik, insbesondere der Photolumineszenz-Spektroskopie, in der er als Projektmitarbeiter in einem Forschungskooperations-Projekt zwischen der Hochschule Ruhr West und der LayTec AG tätig ist.

Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254408, Fax: +49-208-88254419

Ingo Noevermann

B. Sc. Ingo Noevermann ist Student des Masterstudiengangs – Systemtechnik – und unterstützt parallel die Arbeiten der Photolumineszenz-Spektroskopie an der Hochschule Ruhr West, zu dessen Thema er auch seine Abschlussarbeit im Studiengang B.Sc. Elektrotechnik verfasst hat (Photolumineszenzeffekte an Halbleiterkristallen).

Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254408, Fax: +49-208-88254419

Dirk Rueter

Prof. Dr. Dirk Rueter lehrt seit 2010 am Institut Mess- und Sensortechnik der Hochschule Ruhr West in den Fachgebieten Bauelemente und Optoelektronik. Die Forschungsgebiete von Herrn Prof. Dr. Dirk Rueter liegen in der berührungslosen Messtechnik durch elektromagnetische, optische sowie Ultraschall-Verfahren. Er ist Projektleiter eines Forschungskooperations-Projekts zum Thema Photolumineszenzspektroskopie zwischen der Hochschule Ruhr West und der LayTec AG.

Hochschule Ruhr West, Mellinghofer Straße 55, D-45473 Mülheim an der Ruhr, Germany, Tel.: +49-208-88254388, Fax: +49-208-88254419

Erhalten: 2014-8-25
Angenommen: 2014-9-10
Online erschienen: 2014-11-4
Erschienen im Druck: 2014-11-28

©2014 Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 28.1.2023 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1515/teme-2014-1051/html
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