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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag July 7, 2015

Ein kompakter Tastschnittsensor als Teil eines Multi-Sensor-Systems für Nanomessmaschinen

A compact tactile surface profiler for multi-sensor systems in nano measuring machines
Norbert Hofmann

Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere taktile Messsysteme für Nanomessmaschinen

Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

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, Rostyslav Mastylo

Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere optische, berührungsfreie Sensoren für Nanomessmaschinen

Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

, Eberhard Manske

Leiter des Fachgebietes Präzisionsmesstechnik an der TU Ilmenau (Fakultät Maschinenbau)

Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

and René Theska

Fachgebietsleiter des Fachgebiets Feinwerktechnik/Precision Engineering, Fakultät für Maschinenbau, TU Ilmenau

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Fachgebiet Feinwerktechnik

From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Es wurde ein Tastschnittsensor zum Einsatz in der Nanomess- und Nanopositioniermaschine NMM-1 als Teil eines Multi-Sensor-Konzeptes entwickelt. Um die Einbindung in einen vorhandenen automatisierten Sensorwechsler zu ermöglichen, war ein besonders kompakter Aufbau erforderlich. Der Tastschnittsensor nutzt zwei kreisförmige, strukturierte Stahlmembranen zur Führung des Taststiftes und ein Laser-Fokussensor zur Messung der Auslenkung. Zum Funktionsnachweis und zur Ermittlung der messtechnischen Eigenschaften wurde der Sensor in die NMM-1 integriert. Die Messung verschiedener Proben zeigte eine Reproduzierbarkeit im Bereich von wenigen Nanometern.

Abstract

A tactile surface profiler was developed for applications in the nano measuring machine NMM-1. To enable its utilization as part of a multi-sensor concept in an automated sensor changer, a compact design was necessary. The profiler uses a flexure guide made from two circular steel membranes as suspension for the stylus and a focus sensor system to measure its deflection. The profiler was integrated into a NMM-1 to prove its function and investigate its metrological properties. Measurements of different samples showed a reproducibility of few nanometers.

Über die Autoren

Norbert Hofmann

Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere taktile Messsysteme für Nanomessmaschinen

Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

Rostyslav Mastylo

Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik der TU Ilmenau, Arbeitsgebiet insbesondere optische, berührungsfreie Sensoren für Nanomessmaschinen

Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

Eberhard Manske

Leiter des Fachgebietes Präzisionsmesstechnik an der TU Ilmenau (Fakultät Maschinenbau)

Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik

René Theska

Fachgebietsleiter des Fachgebiets Feinwerktechnik/Precision Engineering, Fakultät für Maschinenbau, TU Ilmenau

Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Fachgebiet Feinwerktechnik

Erhalten: 2015-4-13
Revidiert: 2015-5-24
Angenommen: 2015-6-1
Online erschienen: 2015-7-7
Erschienen im Druck: 2015-7-28

©2015 Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 27.11.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1515/teme-2015-0015/html
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