Accessible Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 13, 2016

Aufbau zur flächigen reflektrometrischen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen

Set-up for two-dimensional film thickness determination of laterally moved thin layer structures with reflectometry
Anton J. Tremmel, Markus S. Rauscher, Patrik J. Murr, Michael Schardt and Alexander  W. Koch
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Zur flächigen Schichtdickenbestimmung von lateral bewegten Schichtsystemen wurde erstmals ein Messsystem basierend auf dem reflektometrischen Messprinzip in Kombination mit einem Hyperspektralimager entwickelt. Eine Vorsatzoptik mit integriertem Auflichtpfad formt eine Messlinie, deren Reflexion am Messobjekt auf den Eingangsspalt des Hyperspektralimagers abgebildet wird. Aus den spektralen Daten der Reflektanz wird die Schichthöhe jedes örtlich auflösbaren Pixels des zu untersuchenden Objekts rekonstruiert. Bewegt sich das Messobjekt lateral linear gleichförmig, ergeben zusammengesetzte Messlinien eine Messfläche.

Abstract

For in-line two-dimensional film thickness determination of moving layers, a measurement system based on the reflectometry principle in combination with a hyperspectral imager has been developed for the first time. An optical head with integrated incident light source forms a measurement line. Reflection of the measurement object is displayed on the entrance slit of the hyperspectral imager. From the spectral reflectance data of each locally resolvable pixel of the examined object the layer height is reconstructed. If the measurement object is moving laterally uniformly, combined measurement lines are resulting in a two-dimensional measuring surface.

Danksagung

Diese Arbeit entstand im Rahmen des durch die DFG geförderten Projektes: „Hyperspektrales chromatisches Reflektometer zur Vermessung bewegter Objekte“ KO 2111/9-1.

Erhalten: 2015-11-17
Revidiert: 2016-3-3
Angenommen: 2016-4-11
Online erschienen: 2016-9-13
Erschienen im Druck: 2016-9-28

©2016 Walter de Gruyter Berlin/Boston