Skip to content
Publicly Available Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 20, 2017

Das neue Antriebskonzept am Nanometerkomparator der PTB

Paul Köchert, Eberhard Manske, Rainer Köning, Christoph Weichert and Jens Flügge
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

In diesem Beitrag wird ein neues Antriebskonzept des an der PTB für Längenmessungen bis zu 0,55 m betriebenen Vakuumkomparators beschrieben. Dessen Positioniersystem auf Basis eines Direktantriebs wurde um eine sekundäre Steuereinheit erweitert, um auf Grundlage von Rückkopplungsdaten seines Vakuum-Interferometers einen zusätzlichen elektromagnetischen Aktuator anzutreiben. Anhand von Messungen konnte mit diesem dezentralen Antriebskonzept ein Positionsrauschen (1 σ) von 0,2 nm bei einer Mitteilungszeit von 10 ms nachgewiesen werden.

Abstract

This publication describes a positioning system with a moving range of up to 550 mm and a position stability in the sub-nanometer range. The existing drive system guided by air-bearings of t he so-called Nanometer Camparator had been upgraded by an additional electromagnetic actuator and an FPGA-based motion controller. The new motion control loop takes advantage of feedback signals derived from t he integrated vacuum interferometer. Recent measurements have demonstrated a positioning noise ( 1 σ) of 0.2 nm at an integration time of 10 ms.

Published Online: 2017-9-20
Published in Print: 2017-9-26

© 2017 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

Scroll Up Arrow