Zusammenfassung
In diesem Beitrag wird ein neues Antriebskonzept des an der PTB für Längenmessungen bis zu 0,55 m betriebenen Vakuumkomparators beschrieben. Dessen Positioniersystem auf Basis eines Direktantriebs wurde um eine sekundäre Steuereinheit erweitert, um auf Grundlage von Rückkopplungsdaten seines Vakuum-Interferometers einen zusätzlichen elektromagnetischen Aktuator anzutreiben. Anhand von Messungen konnte mit diesem dezentralen Antriebskonzept ein Positionsrauschen (1 σ) von 0,2 nm bei einer Mitteilungszeit von 10 ms nachgewiesen werden.
Abstract
This publication describes a positioning system with a moving range of up to 550 mm and a position stability in the sub-nanometer range. The existing drive system guided by air-bearings of t he so-called Nanometer Camparator had been upgraded by an additional electromagnetic actuator and an FPGA-based motion controller. The new motion control loop takes advantage of feedback signals derived from t he integrated vacuum interferometer. Recent measurements have demonstrated a positioning noise ( 1 σ) of 0.2 nm at an integration time of 10 ms.
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