Accessible Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag November 13, 2017

Methode zur Erfassung periodischer Sub-Wellenlängen-Nanostrukturen für den In-Prozess-Einsatz

Method to measure periodical sub-wavelength nanostructures for an in-process application
Dirk Stöbener ORCID logo, Gabriela Alexe, Andreas Tausendfreund and Andreas Fischer
From the journal tm - Technisches Messen