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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag February 22, 2018

Von Topographie bis Brechungsindex: Flexibles multi-modales Messen mittels Fusion chromatisch-konfokaler und spektralinterferometrischer Technik

From topography to refractive index: Flexible multi modal measurements by fusion of chromatic-confocal and spectral interferometric schemes
Tobias Boettcher

Tobias Boettcher hat Physik an der Universität Stuttgart studiert und ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Technische Optik (ITO) in der Gruppe „3D-Oberflächenmesstechnik“. Hauptarbeitsgebiete sind die Mikrotopographie- und Mehrschichtmessung mit konfokalen und interferometrischen Verfahren, sowie deren Hybriden mit Fokus auf single-shot Anwendungen.

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and Wolfgang Osten

Wolfgang Osten ist Direktor des Instituts für Technische Optik (ITO) der Universität Stuttgart u. a. mit den Hauptarbeitsgebieten: kohärente Optik, optische Messtechnik, digitale Bildverarbeitung, optische Sensorik für Produktionsautomatisierung, 3D Oberflächenmesstechnik sowie kombinative optische Messverfahren.

From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Bei der Messung technischer Oberflächen treten insbesondere im Umfeld flexibler Fertigung unterschiedlichste Anforderungen auf. Häufig ist eine schnelle hochgenaue Topographie-Messung erwünscht. Durch die Kombination des chromatisch-konfokalen Verfahrens mit der spektralen Interferometrie (Chromatisch-Konfokale Spektral-Interferometrie) ist es möglich, single-shot Messungen mit einem weiten Messbereich und gleichzeitig geringer Unsicherheit zu erzielen. Dabei können ebenso die den beiden einzelnen Verfahren inhärenten Probleme umgangen und so der Einsatzbereich erweitert werden. Mit demselben optischen Aufbau ist es auch möglich, gleichzeitig Brechungsindex und Dicke von Mehrschichtproben mit hoher Auflösung zu vermessen (Chromatisch-Konfokale Kohärenz-Tomographie). Dies ist etwa von Vorteil, wenn das Messobjekt mit funktionalen Schichten versehen ist oder beispielsweise durch eine Ölschicht gemessen werden muss.

Abstract

By combination of chromatic confocal microscopy and spectral interometry, a hybrid system enables high resolution single-shot topography measurements (chromatic confocal spectral interference). Using the same setup, it is also possible to measure refractive index as well as layer thickness of multi-layered specimens simulataneously in a single-shot with high lateral as well axial resolution (chromatic confocal coherence tomography).

Award Identifier / Grant number: OS 111/21-1..3

Award Identifier / Grant number: OS 111/47-1

Funding statement: Die hier präsentierten Ergebnisse entstanden teilweise im Rahmen von Deutsche Forschungsgemeinschaft-Förderprojekten (OS 111/21-1..3, OS 111/47-1).

Über die Autoren

Tobias Boettcher

Tobias Boettcher hat Physik an der Universität Stuttgart studiert und ist wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Technische Optik (ITO) in der Gruppe „3D-Oberflächenmesstechnik“. Hauptarbeitsgebiete sind die Mikrotopographie- und Mehrschichtmessung mit konfokalen und interferometrischen Verfahren, sowie deren Hybriden mit Fokus auf single-shot Anwendungen.

Wolfgang Osten

Wolfgang Osten ist Direktor des Instituts für Technische Optik (ITO) der Universität Stuttgart u. a. mit den Hauptarbeitsgebieten: kohärente Optik, optische Messtechnik, digitale Bildverarbeitung, optische Sensorik für Produktionsautomatisierung, 3D Oberflächenmesstechnik sowie kombinative optische Messverfahren.

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Erhalten: 2017-12-01
Revidiert: 2018-02-02
Angenommen: 2018-02-05
Online erschienen: 2018-02-22
Erschienen im Druck: 2018-07-26

© 2018 Walter de Gruyter GmbH, Berlin/Boston

Downloaded on 27.11.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1515/teme-2017-0134/html
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