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BY-NC-ND 3.0 license Open Access Published by De Gruyter June 2, 2014

Monte-Carlo-Rechnung für die Streuung von keV-Ionen an polykristallinen Stoffen / Monte-Carlo-Calculation for the Backscattering of keV-ions at Poly cry stalline Solids

  • G. Betz

Abstract

Monte-Carlo-Calculation for the Backscattering of keV-ions at Poly cry stalline Solids Assuming a random distribution of the target atoms and taking account of electronic stopping too, the Monte-Carlo technique, based on a single collision model, was used to simulate the scat-tering of keV-ions at polycrystalline solids. The reflection coefficient, angular and energy distribu-tion and penetration depth of the reflected particles have been calculated for various ion-target combinations and energies. Furtheron, the angle of incidence of the primary beam was varied. Calculated values of the reflection coefficient and its dependence on angle of incidence are found in good agreement with experimental results. The percentage of particles scattered after a given number of collisions was also investigated. I. Einleitung Die Streuung von keV-Ionen an polykristallinen Festkörperoberflächen hat in den letzten Jahren gro-ßes Interesse gefunden, unter anderem auch als Me-thode zur Oberflächenanalyse 1 . Verschiedene Metho-den zur Berechnung der Streuung sehr leichter Ionen an Festkörperoberflächen wurden entwickelt 2-4 . Ausgehend von der LINDHARD-SCHARFF-SCHIÖTT-Theorie 5 über die Wechselwirkung von energetischen Ionen mit Festkörpern und den Berechnungen von WINTERBON et al. 6 haben BOTTIGER, DAVIES, SIG-MUND und WINTERBON 7 Streukoeffizienten für ver-schiedene Ion-Targetkombinationen aus Berechnun-gen über die Abbremsung von Ionen in einem un-endlich ausgedehnten, isotropen Medium erhalten.

Received: 1972-6-3
Published Online: 2014-6-2
Published in Print: 1972-9-1

© 1946 – 2014: Verlag der Zeitschrift für Naturforschung

This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.

Downloaded on 29.3.2024 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1515/zna-1972-8-915/html
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