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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag December 1, 1988

2D-Koordinatenmeßtechnik für Mikron-Strukturen auf Halbleiter-Masken / Submicron metrology for masks

  • R. Nawrath and H.-H. Paul
From the journal tm - Technisches Messen
https://doi.org/10.1524/teme.1988.55.jg.341
Online erschienen: 1988-12
Erschienen im Druck: 1988-12

© 2014 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

From the journal
tm - Technisches Messen
tm - Technisches Messen
Volume 55 Issue JG
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Journal and Issue

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TITELEI
Inhaltsverzeichnis
Inhalt / Contents . Heft 1
Impressum
Märkte für Analysengeräte in USA und Europa / Analytical instrument market in USA and Europe
Tragbares Gasmeßgerät zur Auswertung von Kurzzeitwerten / Portable gas analyzer for the evaluation of short term exposure values
Simultane Erfassung und Verarbeitung von Teilentladungs-Kenngrößen zur Beurteilung elektrischer Isolierungen / Simultaneous registration and processing of partial discharge signals for the evaluation of electrical insulations
Produktinformationen / Product informations
Integriertes Meßwerterfassungssystem für flächendeckende Informationsakquisition / Integrated measured value detection system for wide-area acquisition of information
Produktinformationen / Product informations
Temperaturfehler und Möglichkeiten ihrer Beseitigung bei berührungslosen Wellenschwingungsmessungen / Temperature errors and ways of elimination for contactless measurement of shaft vibrations
Aus den Verbänden / From the associations
Hinweise für Autoren
Produktinformationen / Product informations
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents . Heft 2
Impressum
Elektronenbeugungs- Reflexprofilanalyse - eine neue Methode zur Untersuchung von Kristalloberflächen / Spot profile analysis of low energy electron diffraction - a novel method for the study of crystal surfaces
Dynamischer Strömungssensor / Dynamic flow sensor
Konferenzbericht: Sensoren und ihre Anwendungen Conference report: Sensors and their applications
Produktinformationen / Product information
Statistische Sicherheit der Meßdaten beim Laufzeit-Korrelationsverfahren / Level of significance of measuring data in the transit time correlation method
Konferenzbericht: Technische Diagnose / Conference report: Technical diagnostics
Buchbesprechungen / Literature
tm-Gastvorlesung / tm Tutorial
Meßtechnik und Meßsignalverarbeitung / Measurement techniques and signal processing
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents . Heft 3
Impressum
Editorial: Zerstörungsfreie Prüfverfahren für Korrosion
Erscheinungsformen der Korrosion / Manifestation of corrosion
Methoden zur systematischen Auffindung von Korrosionsschäden bei der Überwachung verfahrenstechnischer Anlagen / Methods for the systematic detection of corrosion damages in materials processing equipment
Firmenschriften / New literature
Ultraschallprüfung als Mittel zur Feststellung und Tiefenbestimmung von Korrosionsrissen / Ultrasonic testing for the detection and sizing of corrosion cracks
Produktinformationen / Product information
Zerstörungsfreie Prüfverfahren zum Nachweis von Loch- und Muldenfraß / Non-destructive testing of locally corroded areas
Produktinformationen / Product information
Nachweis von Ankrustungen und Verstopfungen in Rohrleitungen / Detection of encrustations and obstructions in pipelines
Entwicklungen, Möglichkeiten und Probleme der zerstörungsfreien Prüfung korrodierter Bauteile / Trends, options and problems in non-destructive testing of corroded objects
tm-Gastvorlesung / tm Tutorial
Meßtechnik und Meßsignalverarbeitung / Measurement techniques and signal processing
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents . Heft 4
Impressum
Korrosion und zerstörungsfreie Prüfung in der chemischen Industrie / Corrosion and non-destructive testing in the chemical industry
Aus den Verbänden / From the associations
Korrosion und zerstörungsfreie Prüfung in der petrochemischen Industrie / Corrosion and non-destructive testing in the petrochemical industry
Buchbesprechung / Literature
Korrosion und zerstörungsfreie Prüfung in der Meerestechnik / Corrosion and non-destructive testing in marine technology
Korrosion und zerstörungsfreie Prüfung in der Luftfahrttechnik / Corrosion and non-destructive testing in aviation technology
Buchbesprechung / Literature
Korrosion und zerstörungsfreie Prüfung im Bauwesen / Corrosion and non-destructive testing in reinforced concrete structures
Produktinformationen / Product information
Zerstörungsfreie Prüfung von Beschichtungen bei Abnahme und im Betrieb / Non-destructive testing of coatings during acceptance and in service
Ausstellungsbericht: Messen und Prüfen in der Qualitätssicherung / Exhibition report: measurement and inspection in quality assurance
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents . Heft 5
Impressum
Editorial: Meßtechnik in Deponien
Meßtechnik für Deponiegas / Analytical procedures of landfill gas
Buchbesprechung / Literature
In-situ-Messung von Deponiegasen mittels mobilem Massenspektrometer / In-situ measurement of gases in waste deposits by a mobile mass spectrometer
Produktinformationen / Product information
Monitor für Chlorkohlenwasserstoffe in Deponiegas / Monitor for halocarbons in landfill gas
Firmenschriften / New literature
Meßtechnik zur Aufbereitung von Deponiegas / Measurement technology for processing of landfill gas
Rechnerunterstütztes Meßsystem für Deponiegas / Computer aided measuring system for landfill gas
Aus den Verbänden / From the associations
On -line -Meßger ät für Stickstoff in Erdgas / On-line instrument for nitrogen in natural gas
Viskoelastometer für Messungen im Prozeß / Viscoelastometer for in-line measurement
tm-Gastvorlessung / tm Tutorial
Digitale Meßwertverarbeitung / Digital signal processing
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungen / Meetings
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt · Contents HEft 6
Dünnfilm-DMS-Aufnehmer für kleine Kräfte und Massen / Thin film strain gauge transducer for small forces and loads
Anwendung des magnetoelastischen Effekts zur Messung von Dehnwellen in stabförmigen Körpern schlagender Maschinen / Application of the magnetoelastic effect in measuring stress waves in rod shaped bodies of percussive machines
Gamma-Strahl-Dichtemeßsystem zur Messung des Dampfgehaltes in Zweiphasen-Strömungen / Gamma densitometer for void fraction measurements in two-phase flows
Meßwerterfassung und -Verarbeitung bei Konstant- Temperatur-Anemometern in der Strömungsmeßtechnik / Data acquisition and processing in now measurements using constant-temperature anemometer
Computergesteuerte Adaption der lokalen Meßpunktdichte für automatische Messungen Computer controlled adaptation of the local density of measuring points for automated measurements
SIGNALYS - ein hardwareunabhängiges Software-Paket zur Erfassung, Auswertung und Darstellung von Meßdaten mit Personal-Computern / SIGNAL YS - a hardware independent software package for acquisition, processing and documentation of measuring data with personal computer
tm-Gastvorlesung / tm Tutorial
Digitale Meßwertverarbeitung / Digital signal processing
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents . Heft 7/8
Impressum
Massenstrommessung durch Modulation der Strömung in einem Rohrabschnitt / Mass flow measurement by means of flow modulation in a pipe
Durchflußmessung mit parallelen Stauleisten in Rechteckkanälen / Flow measurement with parallel flow grids in ducts with rectangular cross sections
Rechnergestütztes Meßsystem zur automatisierten Rohrnetzüberwachung und Lecksuche / Computer supported measuring system for automatic control of pipe networks and leak detection
Rechnersimulation von Doppelbrechungseffekten in faseroptischen Stromsensoren / Simulation of birefringence effects in fiber optic current sensors
Störsichere Meßdatenübertragung auf Stromversorgungsnetzen / Transmitting measurement data safely over power line networks
Rechnergestützte Dimensionierung interner Verbindungs- leitungen von Impulsspannungsteilern / Computer aided design of internal transmission lines of impulse voltage dividers
tm-Gastvorlesung - tm Tutorial
Digitale Meßwertverarbeitung / Digital signal processing
Produktinformationen / Product information
Inhalt / Contents. Heft 9
Impressum
Editorial: Fertigungsmeßtechnik und Automatisierung
Flexible Meßzelle zur Qualitätssicherung beim Schleifen / Flexible analyzer for quality control of the cylindrical grinding process
Integration von Meßsteuerungen in flexible Fertigungslinien / Integration of flexible measuring centers in production lines
DIN-Schnittstelle für die rechnergestützte Qualitätssicherung / Standardized interface for computer aided quality assurance
Einfluß unterschiedlicher Sensoren auf die Bestimmung von Längenmaßen / The influence of different types of sensors for length measurements
Produktinformationen / Product information
2D-Koordinatenmeßtechnik für Mikron-Strukturen auf Halbleiter-Masken / Submicron metrology for masks
Ellipsometrische In-situ-Kontrolle für Dünnschicht-Prozesse / Ellipsometric measurement methods for thin film technology
tm Gastvorlesung / tm Tutorial
Digitale Meßwertverarbeitung / Digital signal processing
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents. Heft 10
Impressum
Ultraschall-Systeme für die industrielle Objekterfassung und -klassifizierung / Ultrasonic sensor systems for industrial object detection and object classification
Aus den Verbänden / From the associations
Vermessung von Robotern und großen Koordinatenmeßgeräten mittels axialer und raumschräger Laserinterferometer-Messungen / Metrology of robots and large coordinate measuring machines by means of axial and oblique laserinterferometer measurements
Längenmessung bewegter Materialien nach dem Referenz-Dopplerverfahren mit Diodenlasern / Measurement of the length of materials in motion according to the reference Doppler technique using diode lasers
Winkelmessung mit Laserkreisel / Angular measurements with laser gyro
Kalibrationsfreie, Verschmutzungskompensierende Taupunkttemperatur-Meßeinrichtung für industrielle Prozesse / Calibration-free, pollution-compensating dewpoint temperature measuring system for application in industrial processes
Messebericht: ANALYTICA 88 / Exhibition report: ANALYTICA 88
Produktinformationen / Product information
tm-Gastvorlesung - tm Tutorial
Digitale Meßwertverarbeitung / Digital signal processing
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents . Heft 11
Impressum
Editorial: ΑΜΑ und tm kooperieren
Konferenz- und Ausstellungsbericht: SENSOR 88 / Conference and exhibition report: SENSOR 88
Messung des Temperatureinflusses bei Sensoren / Measurement of the influence of temperature at sensors
Korrektur dynamischer Meßfehler von gekapselten Hilfswand-Wärmestromsensoren aus Schichtwiderstandsthermometern / Dynamic measuring error correction of encapsulated auxiliary wall heat flux sensors made of film resistance thermometers
Firmenschriften / New literature
Effiziente Linearisierung für Platin-Temperaturfühler / Efficient linearization for platinum resistance thermometers
Meßabweichungen der Temperaturfühler von Wärmezählern unter praxisnahen Bedingungen / Errors of measurement of the temperature probes of heat meters under quasi-practical conditions
AussteUungsbericht: Gas- und Flüssigkeitsanalysatoren für die Betriebsmeßtechnik auf der ACHEMA '88 / Exhibition report: Analyzers for gases and liquids in process control at the ACHEMA '88
Fotometrische Inline-Meßanordnung zur Konzentrationsbestimmung in Flüssigkeiten / Inline photometer for the determination of liquid concentrations
tm-Gastvorlesung / tm Tutorial
Digitale Meßwertverarbeitung Digital signal processing
Aus den Verbänden / From the associations
Produktinformationen / Product information
Veranstaltungskalender / Meetings to come
Inhalt / Contents . Heft 12
Impressum
Editorial: Automatisierte Sichtprüfung
Automatisierung der optischen Qualitätsprüfung / Automated optical instrumentation for quality assurances
Antastverfahren und Genauigkeit bei der Geometriemessung mit Bildverarbeitung / Strategy and accuracy of image processing for geometrical measurement
AMA-Mitteilungen / ΑΜΑ Information
Moirvérfahren zur Erkennung von Oberflächendefekten durch Bestimmung des Oberflächengradienten / Moiré technique to detect surface defects by evaluating the surface gradient
Prüfung von lackierten Karosserie-Oberflächen / Inspection of painted car bodies
Verfahren und Geräte zur schnellen automatischen Prüfung texturierter Oberflächen / Methods and systems for fast automatic visual inspection of textured surfaces
tm Gastvorlesung / tm Tutorial
Digitale Meßwertverarbeitung / Digital signal processing
Aus den Verbänden / From the associations
Hinweise für Autoren
Buchbesprechungen / Literature
Produktioninformationen
Downloaded on 4.10.2023 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.1988.55.jg.341/html
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