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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag December 1, 1999

Anwendung der Mikrotechnologie in der Messtechnik Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) in Precision Engineering

H.-H. Gatzen
From the journal tm - Technisches Messen
Online erschienen: 1999-12
Erschienen im Druck: 1999-12

© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

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