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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag December 1, 1999

Miniaturisierter 3D-Tastsensor für die Metrologie an Mikrostrukturen

3D Probe for Dimensional Metrology on Microsystem Components

T. Kleine-Besten , S. Loheide , U. Brand , Α. Schlachetzki , S. Bütefisch and S. Büttgenbach
From the journal tm - Technisches Messen
Online erschienen: 1999-12
Erschienen im Druck: 1999-12

© 2013 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

Downloaded on 28.11.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.1999.66.12.490/html
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