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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 25, 2009

Interferometrische Kalibrierverfahren für die Schrittweitensteuerung eines Phasenverschiebeinterferometers (Interferometric Calibration Procedures of the Step-Width Control of a Phase-Stepping Interferometer)

A. Nicolaus , G. Bönsch and C.-S. Kang
From the journal tm - Technisches Messen

Abstract

Es wird ein Interferometer mit Phasenverschiebungseinrichtung zur dimensionellen Messung von quaderförmigen Körpern beschrieben. Der verwendete spezielle Fizeau-Algorithmus erfordert eine Schrittweite von exakt ¼ Interferenzordnung, die durch Piezostellelemente mit integriertem kapazitiven Wegaufnehmer erzielt wird. Es wurden zwei interferometrische Kalibrierverfahren für die kapazitiven Wegaufnehmer entwickelt, die die verbleibenden Schrittweitenfehler deutlich unter 1 nm drücken.

Abstract

A phase-stepping interferometer designed for dimensional measurements of bodies with parallel, flat measuring surfaces is described. The special Fizeau-algorithm used requires a step-width of exactly ¼ interference order which is achieved by means of piezoactuators with an integrated capacitive sensor. Two interferometric procedures have been developed to calibrate the capacitive sensors. The remaining step-with errors are much below 1 nm.

Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2000-07-01

© 2000 by Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 1.2.2023 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2000.67.7-8.328/html
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