Abstract
Es wird ein Interferometer mit Phasenverschiebungseinrichtung zur dimensionellen Messung von quaderförmigen Körpern beschrieben. Der verwendete spezielle Fizeau-Algorithmus erfordert eine Schrittweite von exakt ¼ Interferenzordnung, die durch Piezostellelemente mit integriertem kapazitiven Wegaufnehmer erzielt wird. Es wurden zwei interferometrische Kalibrierverfahren für die kapazitiven Wegaufnehmer entwickelt, die die verbleibenden Schrittweitenfehler deutlich unter 1 nm drücken.
Abstract
A phase-stepping interferometer designed for dimensional measurements of bodies with parallel, flat measuring surfaces is described. The special Fizeau-algorithm used requires a step-width of exactly ¼ interference order which is achieved by means of piezoactuators with an integrated capacitive sensor. Two interferometric procedures have been developed to calibrate the capacitive sensors. The remaining step-with errors are much below 1 nm.
© 2000 by Walter de Gruyter Berlin/Boston
