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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 25, 2009

Anforderungen an die zukünftige Mikro- und Nanomesstechnik - Herausforderungen und Vorgehensweisen (Future Requirements on Micro- and Nanomeasurement Technique – Challenges and Approaches)

Albert Weckenmann and Rolf Ernst
From the journal tm - Technisches Messen

Abstract

Mikro- und Nanosystemtechnik ist dabei, gewaltig an Bedeutung für die Industrie zu gewinnen. In einer großen Vielzahl von Anwendungen, z.B. Kommunikationstechnologie, Automobilindustrie oder Medizin, wird über eine konstante Zunahme neuer Anwendungen und sogar einsatzfähiger Produkte berichtet. Definierte Oberflächenstrukturen können nur durch neue Produktionsprozesse, die eine ultrapräzise Bearbeitung der Materialien erlauben, realisiert werden. Gleichwohl sind Produktionsprozesse nur dann für die Großserienfertigung geeignet, wenn brauchbare Messgeräte existieren, die es den Herstellern ermöglichen, diese Prozesse zu steuern. Dieser Beitrag gibt einen Überblick über die Messverfahren, die fähig sind, sich diesen Herausforderungen zu stellen.

Abstract

Microsystems technology is developing into a rapidly increasing industry. In a great variety of application fields like e.g. communication technology, automotive industry or medicine a constant expansion of new approaches and even products is reported. Acute surface structures can only be realized by the use of new production processes which allow an ultra precision treatment of materials. However, production processes can only be stable and qualified for mass production if there is suitable measuring equipment, which enables the manufacturer to control his processes. This contribution will present some measuring technologies which are able to face these new objections.

Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2000-07-01

© 2000 by Walter de Gruyter Berlin/Boston

Downloaded on 4.12.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.2000.67.7-8.334/html
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