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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 25, 2009

Optische Kohärenztomografie als neues Werkzeug für die zerstörungsfreie Werkstoffprüfung (Optical Coherence Tomography as a Novel Tool for Non-Destructive Material Characterization)

David Stifter , Karin Wiesauer , Rainer Engelke , Gisela Ahrens , Gabi Grützner , Michael Pircher , Erich Götzinger and Christoph K. Hitzenberger
From the journal tm - Technisches Messen

Mittels optischer Kohärenztomografie (OCT) können in kontaktfreier Weise Querschnittsbilder von semitransparenten Proben aufgenommen werden. In diesem Artikel werden instrumentelle Erweiterungen der OCT vorgestellt, welche in der zerstörungsfreien Materialcharakterisierung zur Anwendung kommen können. Messungen an diversen Materialproben, wie z. B. an Fotolackschichten für die Fabrikation von mikromechanischen Teilen, wurden mit verschiedenen OCT-Aufbauten durchgeführt, um die individuellen Vorteile der ultrahochauflösenden OCT, der schnellen Fourier-Domain-OCT und der polarisationssensitiven OCT aufzuzeigen.

Optical coherence tomography (OCT) provides depth-resolved information on the internal geometry of samples in a contact-free way. We present advanced methods of OCT for applications in materials research and non-destructive sample evaluation. For comparison and demonstration, different OCT setups are used for the imaging of diverse material samples like thick photoresist moulds for the fabrication of micro-electromechanical parts: a standard resolution OCT, a high-speed and high-resolution spectral domain OCT, as well as a ultrahigh-resolution OCT with polarization detection capability.

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Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2007-02

© Oldenbourg Wissenschaftsverlag

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