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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 25, 2009

Rastersondenmetrologie: Vom metrologischen Rasterkraftmikroskop zum Mikro- und Nanokoordinatenmessgerät Scanning Probe Metrology: From the Metrological SFM to the Micro/Nano CMM

Gaoliang Dai , Sebastian Bütefisch , Frank Pohlenz , Hans-Ulrich Danzebrink and Ludger Koenders
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Um den vielfältigen Anforderungen auf dem Gebiet der dimensionellen Mikro- und Nanometrologie gerecht zu werden, ist ein Koordinatenmessgerät (KMG) auf der Basis der Nanopositionier- und Nanomessmaschine (NMM) aufgebaut worden. In den vergangenen Jahren sind zwei Typen von taktilen Mikro-/Nanotastern entwickelt und an dieses Gerät angekoppelt worden. Im vorliegenden Beitrag wird über die Entwicklung des Mikro-/Nano-KMG berichtet. Es werden Details zum Design der wichtigsten Komponenten (Positioniersystem, Antastsystem, Software), zu Methoden der Taster-Charakterisierung sowie zu Messergebnissen an einem typischen Prüfkörper präsentiert.

Abstract

A coordinate measuring machine (CMM) based on a nano positioning and measuring machine (NMM) has been built up for satisfying various demands on micro and nanoscale dimensional metrology. During the past years two kinds of tactile micro/nano CMM probes have been developed and coupled to the system. In this paper, the development of the micro/nano CMM will be reported. Detailed information on the design ideas concerning the key components of the CMM (positioning stage, probe, software), methods of probe characterization, and measurement results for a typical test artefact are given.


* Correspondence address: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Deutschland,

Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2009-02

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany

Downloaded on 10.12.2022 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2009.0921/html
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