Bosse, Harald, Flügge, Jens, Köning, Rainer, Frase, Carl Georg, Häßler-Grohne, Wolfgang, Just, Andreas and Geckeler, Ralf. "Dimensionelle Metrologie an ebenen Substraten mit Mikro- und Nanostrukturen Dimensional Metrology on Plane Substrates with Micro- and Nanostructures"
tm - Technisches Messen, vol. 76, no. 2, 2009, pp. 54-64.
https://doi.org/10.1524/teme.2009.0923
Bosse, H., Flügge, J., Köning, R., Frase, C., Häßler-Grohne, W., Just, A. & Geckeler, R. (2009). Dimensionelle Metrologie an ebenen Substraten mit Mikro- und Nanostrukturen Dimensional Metrology on Plane Substrates with Micro- and Nanostructures.
tm - Technisches Messen,
76(2), 54-64.
https://doi.org/10.1524/teme.2009.0923
Bosse, H., Flügge, J., Köning, R., Frase, C., Häßler-Grohne, W., Just, A. and Geckeler, R. (2009) Dimensionelle Metrologie an ebenen Substraten mit Mikro- und Nanostrukturen Dimensional Metrology on Plane Substrates with Micro- and Nanostructures. tm - Technisches Messen, Vol. 76 (Issue 2), pp. 54-64.
https://doi.org/10.1524/teme.2009.0923
Bosse, Harald, Flügge, Jens, Köning, Rainer, Frase, Carl Georg, Häßler-Grohne, Wolfgang, Just, Andreas and Geckeler, Ralf. "Dimensionelle Metrologie an ebenen Substraten mit Mikro- und Nanostrukturen Dimensional Metrology on Plane Substrates with Micro- and Nanostructures"
tm - Technisches Messen 76, no. 2 (2009): 54-64.
https://doi.org/10.1524/teme.2009.0923
Bosse H, Flügge J, Köning R, Frase C, Häßler-Grohne W, Just A, Geckeler R. Dimensionelle Metrologie an ebenen Substraten mit Mikro- und Nanostrukturen Dimensional Metrology on Plane Substrates with Micro- and Nanostructures.
tm - Technisches Messen. 2009;76(2): 54-64.
https://doi.org/10.1524/teme.2009.0923
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