Skip to content
Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 25, 2009

Mikrokoordinatenmesstechnik mit elektrischer Werkstückantastung Micro Coordinate Metrology with Electrical Probing

Jörg Hoffmann , Albert Weckenmann and Alexander Schuler
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Koordinatenmesstechnik gehört im klassischen Maschinenbau zu den Kernelementen der industriellen Qualitätssicherung. Ihre Anwendung kann auch in der Mikrotechnologie zur Bewältigung zahlreicher Herausforderungen im Bereich der geometrischen Werkstückprüfung beitragen, wenn die Gerätetechnik entsprechend miniaturisiert und die Genauigkeit verbessert werden kann. Während es mehrere kommerzielle Achssysteme für Mikrokoordinatenmessgeräte mit einer Auflösung im Nanometerbereich gibt, bestehen große praktische Beschränkungen bei der nanometeraufgelösten Werkstückantastung. Kein heute verfügbares taktiles oder optisches Mikrotastsystem kann eine vollständige Messung komplexer dreidimensionaler Bauteile leisten, weshalb oftmals aufwendige multisensorische Ansätze verfolgt werden. Elektrische Werkstückantastung bietet eine neue Möglichkeit zu holistischer, nanometeraufgelöster Koordinaten- und Oberflächenmesstechnik mit nur einem Sensor.

Abstract

Coordinate metrology belongs to the key elements of quality management in classical mechanical engineering. Its application may help to solve many challenges of geometrical testing in micro technology if devices can be appropriately miniaturized and improved in accuracy. While there are several commercial axes systems for micro coordinate measuring machines with resolutions in the nanometer range, nanometer-resolved probing faces practical limitations. Today there is neither a tactile nor an optical probing system enabling the complete measurement of complex three dimensional objects. Thus mostly expensive multi-sensorial approaches are employed. Electrical probing offers a new possibility for holistic, nanometer-resolved coordinate and surface metrology with one sensor only.


* Correspondence address: Universität Erlangen, Lehrstuhl für Qualitätsmanagement und Fertigungsme, Nägelsbachstr. 25, 91052 Erlangen,

Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2009-02

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany

Downloaded on 30.11.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.2009.0928/html
Scroll Up Arrow