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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 25, 2009

Interferometric Displacement Measurement for Local Probe Microscopy Interferometrische Abstandsmessung für das scannende Mikroskopieverfahren

  • Josef Lazar , Ondřej Čίp , Martin Cízek and Mojmίr erý
From the journal tm - Technisches Messen

Abstract

In the contribution we present an interferometric displacement monitoring system for positioning of a sample stage for local probe microscopy. The arrangement is designed for metrology applications with direct link to fundamental etalon of length and monitoring of all six axes of freedom of motion. Active position of control is proposed.

Zusammenfassung

In diesem Beitrag stellen wir ein interferometrisches Abstandsüberwachungssystem für die Positionierung eines Objekttisches für Rasterkraftmikroskopie vor. Die Anordnung wurde entwickelt, um direkt rückführbare Metrologieanwendungen mit Überwachung aller sechs Freiheitsgrade zu ermöglichen. Außerdem wird eine aktive Positionsregelung vorgeschlagen.


* Correspondence address: Institute of Scientific Instruments, AS CR, Královopolská 147, 612 64 Brno, Tschechische Republik,

Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2009-05

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany

Downloaded on 28.3.2024 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2009.0965/html
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