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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 9, 2010

Verlässlichkeitsanalyse von Indikator-Funktionen in einem Automatisierten Multiskalen-Messsystem

Reliability Analysis of Indicator Functions in an Automated Multiscale Measuring System
Avinash Burla, Wolfram Lyda, Wolfgang Osten, Johan Regin, Engelbert Westkämper, Jan Zimmermann and Oliver Sawodny
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Innerhalb automatisierter multiskaliger Messsysteme werden im Allgemeinen verschiedene Sensoren in verschiedenen Skalen zur Vermessung/Inspektion verwendet. Ausgehend von der niedrigstauflösenden Skale werden Indikationen für Defekte mittels Indikatoralgorithmen gefunden. Basierend auf diesen Defektindikationen werden Unterregionen für eine Vermessung mit höherer Auflösung spezifiziert. Dieser Vorgang wird iterativ bis zur klaren Defekterkennung durchgeführt. Grundlage einer entsprechenden Vorgehensweise ist die Verwendung zuverlässiger Indikatoralgorithmen. Entsprechende Algorithmen für die Vermessung von Mikrooptiken werden vorgestellt und hinsichtlich ihrer Zuverlässigkeit analysiert.

Abstract

In an Automated Multiscale Measurement System (AMMS) different sensors at different scales are used for measurement and inspection of a given specimen. Starting from a coarse scale the indicators are detected by the indicator detection algorithms. Based on these indicators the regions of interest are specified for finer measurements in the next scale. This process continues until all indicators are classified. Hence reliable indicator detection algorithms are important. We present suitable indicator detection algorithms for microlens arrays and analyse their reliability.


* Correspondence address: Universität Stuttgart, Institut für Technische Optik, Pfaffenwaldring 9, 70569 Stuttgart,

Published Online: 2010-09-09
Published in Print: 2010-09

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Stuttgart, Germany