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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 9, 2010

Digitale Mehrwellenlängen-Holografie für makroskopische Topografien in mikroskopischer Genauigkeit

Digital Multi-Wavelength Holography for Macroscopic Topographies with Microscopic Precision
Daniel Carl, Markus Fratz and Heinrich Höfler
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Optische Systeme für die Vermessung dreidimensionaler Oberflächen sind für die Inline-Inspektion oft zu langsam oder zu ungenau. Deshalb hat Fraunhofer IPM Inspektionssysteme entwickelt, die auf digitaler Mehrwellenlängen-Holografie basieren. Die Systeme zeichnen sich durch extrem kurze Messzeit und hohe Genauigkeit aus und sind daher für die 100-Prozent-Kontrolle in der Fertigungslinie geeignet.

Abstract

Optical systems for measuring three-dimensional surfaces are often too slow or too imprecise for inline inspection. That´s why Fraunhofer IPM has developed inspection systems based on multi-wavelength holography. Distinctive for their extremely short measuring times and high precision, the systems are suitable for 100 percent monitoring on production lines.


* Correspondence address: Fraunhofer IPM, Heidenhofstr. 8, 79110 Freiburg,

Published Online: 2010-09-09
Published in Print: 2010-09

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Freiburg, Germany