Zusammenfassung
Im vorliegenden Artikel wird ein robustes Common-Path-Interferometer auf der Basis eines Interferometers nach Bath und Gates vorgestellt. Ein lateral positionierbarer Strahlteilerwürfel erlaubt in diesem Aufbau das Scannen einer Prüflingsoberfläche durch die Variation des Abstandes zwischen Referenz- und Messstrahl. Daher kann auf eine aktive Positionierung des Prüflings bei der Vermessung von Profilschnitten verzichtet werden. Der messbare Tiefenbereich sowie die minimale messbare Mikrostrukturgröße sind durch den Wechsel der verwendeten Fokussieroptik einstellbar.
Abstract
A robust common-path interferometer, based on an interferometer according to Bath and Gates, is presented. In this setup, the distance of both the reference beam and the measuring beam can be varied by offsetting a beamsplitter cube laterally. Thus, an active positioning of the specimen is not required for measuring cross-sections. The measurable depth range and the minimal measurable size of microstructures can be adjusted by changing the focusing optics.
© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Göttingen, Germany
