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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag October 25, 2010

Ein modifiziertes Bath-Interferometer zur Profilmessung von Mikrostrukturen

A Modified Bath-Interferometer for Profile Measurements of Microstructures
Christoph Gerhard and Frank Vollertsen
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Im vorliegenden Artikel wird ein robustes Common-Path-Interferometer auf der Basis eines Interferometers nach Bath und Gates vorgestellt. Ein lateral positionierbarer Strahlteilerwürfel erlaubt in diesem Aufbau das Scannen einer Prüflingsoberfläche durch die Variation des Abstandes zwischen Referenz- und Messstrahl. Daher kann auf eine aktive Positionierung des Prüflings bei der Vermessung von Profilschnitten verzichtet werden. Der messbare Tiefenbereich sowie die minimale messbare Mikrostrukturgröße sind durch den Wechsel der verwendeten Fokussieroptik einstellbar.

Abstract

A robust common-path interferometer, based on an interferometer according to Bath and Gates, is presented. In this setup, the distance of both the reference beam and the measuring beam can be varied by offsetting a beamsplitter cube laterally. Thus, an active positioning of the specimen is not required for measuring cross-sections. The measurable depth range and the minimal measurable size of microstructures can be adjusted by changing the focusing optics.


* Correspondence address: Kiesseestraße 29, 37083 Göttingen,

Published Online: 2010-10-25
Published in Print: 2010-11

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Göttingen, Germany

Downloaded on 30.11.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.2010.0079/html
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