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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag October 25, 2010

Kraftmikroskopie durch Einzelpunktantastung an Strukturkanten

Atomic Force Microscopy via Single Point Probing along Edges
Dorothee Hüser , Wolfgang Häßler-Grohne , Klaus-Dieter Katzer , Jens Hunecken , Hans-Achim Fuß and Harald Bosse
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Im Zuge der immer höheren Integrationsdichte in der Halbleiterindustrie steigt der Bedarf, Strukturen mit Auflösungen im Sub-Nanometerbereich messen zu können. Grundlage für unterschiedliche optische und elektronenmikroskopische Verfahren zur Strukturbreitenmessung ist die Quantifizierung von Geometrieparametern an Kantenübergängen durch sondenmikroskopische Abtastung der Oberfläche. Dieser Artikel beschreibt ein Verfahren, Strukturkanten mittels Einzelpunktantastung mit Kraftmikroskopen abzutasten. Wesen dieser Strategie ist, die Sonde aus zur lokalen Oberflächenneigung passender Richtung antasten zu lassen. Dies liefert die Möglichkeit, Steigung und Verrundung der Kante sowie den Kantenfuß zu ermitteln.

Abstract

The increase of integration density in semiconductor industry demands the ability to measure structures with subnanometer resolution. Quantitative estimation of geometry parameters of edges by proximal probe microscopy forms a basis for CD measurements with various optical and electron-microscopic procedures. This article describes a procedure for sampling edges with single point probing. Main feature of this strategy is the approaching of nanosized structures from directions according to the surface slope in order to estimate slope, foot, and bulge of edges.


* Correspondence address: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, AG 5.22 Maskenmesstechnik, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig,

Published Online: 2010-10-25
Published in Print: 2010-11

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Braunschweig, Germany

Downloaded on 5.12.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.2010.0080/html
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