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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag April 26, 2011

Hochempfindliche Dünnschichtsensoren basierend auf Terahertz-Wellenleitern

Highly Sensitive Thin Film Sensors Using Terahertz Waveguides
Michael Theuer , Daniel R. Grischkowsky and René Beigang
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Terahertz Zeitbereichs-Spektroskopie ist in der Lage, durch Laufzeitanalyse dünne dielektrische Schichten aufzulösen. Durch die neue Messanordnung eines Zwei-Zylinder Wellenleiters konnte die Empfindlichkeit um den Faktor 150 auf bis zu 2,5 Mikrometer gesteigert werden. Eine Fehlerabschätzung lässt sogar eine sub-Mikrometer Auflösung erwarten. Selbst auf metallischen Folien ist dadurch die Dicke von dünnsten dielektrischen Schichten präzise zu bestimmen.

Abstract

Terahertz time-domain spectroscopy is capable of detecting thin dielectric layers using pulse delay information. A new experimental geometry of a two-cylinder waveguide is applied to increase the system sensitivity by a factor of 150, extending the measurement range down to a thickness of 2.5 microns. Error estimations indicate that a sub-micron resolution is feasible. Even the thickness of dielectric layers on top of metal foils can be precisely determined.


* Correspondence address: Technische Universität Kaiserslautern, Erwin-Schrödinger-Straße, Gebäude 56, 67663 Kaiserslautern,

Published Online: 2011-04-26
Published in Print: 2011-05

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Kaiserslautern, Germany

Downloaded on 30.11.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.2011.0130/html
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