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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag October 28, 2011

Standing Wave Interferometer with Stabilization of Wavelength on Air

Stehwelleninterferometer mit Wellenlängenstabilisierung in Luft
Josef Lazar , Ondrej Cip , Martin Cízek , Jan Hrabina and Zdenek Buchta
From the journal

Abstract

We present an experimental arrangement of an interferometric system designed to operate with full compensation for varying refractive index of air in the measuring axis. The concept is based on a principle where the wavelength of the laser source is derived not from an optical frequency of the stabilized laser but from a fixed length being a base-plate or a frame of the whole measuring setup. This results into stabilization of the wavelength of the laser source in atmospheric conditions to mechanical length of suitable etalon made of a material with very low thermal expansion. The ultra-low thermal expanding glass ceramic materials available on the market perform thermal expansion coefficients on the level 10−8 which significantly exceeds the limits of uncertainty posed by indirect evaluation of refractive index of air through Edlen formula. This approach represents a contribution primarily to high-resolution and high-precision dimensional metrology in the nanoscale.

Zusammenfassung

Ein Interferometer wird vorgestellt, welches die vollständige Kompensation des zeitlich variierenden Brechungsindex der Luft entlang des Messpfades erreicht. Das Konzept basiert auf der Idee die Laserwellenlänge nicht optisch zu stabilisieren, sondern von einer bekannten Distanz abzuleiten, welche über ein Material mit niedrigem thermischem Ausdehnungskoeffizienten realisiert wird. Die hier eingesetzte kommerziell verfügbare Glaskeramik erreicht thermische Ausdehnungskoeffizienten in der Größenordnung von 10−8 / °C. Dies ist weit unterhalb jener Grenze die erreicht werden kann, wenn der Brechungsindex der Luft mithilfe der Beziehung von Edlen korrigiert wird. Somit ergeben sich Anwendungen in der präzisen Bestimmung von geometrischen Größen auch im Nanometerbereich.


* Correspondence address: Institute of Scientific Instruments, AS CR, Královopolská 147, 612 64 Brno, Tschechische Republik,

Published Online: 2011-10-28
Published in Print: 2011-11

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Brno, Germany

Downloaded on 8.12.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.2011.0201/html
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