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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag March 26, 2012

Messung von absoluten Kugelradiustopografien mit einem Kugelinterferometer — Interpolationsmethoden

Determination of Topographies of Absolute Sphere Radii with a Sphere Interferometer — Interpolation Methods
Guido Bartl , Michael Krystek and Arnold Nicolaus
From the journal

Zusammenfassung

Das für das Kugelinterferometer der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt entwickelte Stitching-Verfahren erlaubt es, an Stelle der üblicherweise erhaltenen Durchmesser die tatsächliche Kugelform als Radiustopografie mit wenigen Nanometern Unsicherheit zu rekonstruieren. Die laterale Auflösung der rekonstruierten Kugelform ist bei einem bereits vorgestellten Ansatz auf Basis von Kugelflächenfunktionen hardwarebedingt beschränkt. Eine Abwandlung des Modells mit einem Interpolationsgitter bietet hier Abhilfe. Die beiden Modellvarianten werden im Vergleich präsentiert.

Abstract

The stitching approach which was developed for the sphere interferometer of the Physikalisch-Technische Bundesanstalt provides the capability to reconstruct the real form of a sphere as a topography of radii instead of diameters. A model based on spherical harmonics in which the lateral resolution of the topography is mainly constrained by the available computer memory was already presented. As a remedy an interpolation grid can be used in a modification of the model. An overview of both variants of the model is presented.


* Correspondence address: Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig,

Published Online: 2012-03-26
Published in Print: 2012-04

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Braunschweig, Germany

Downloaded on 31.1.2023 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2012.0222/html
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