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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag January 25, 2013

Aktive Schwingungsdämpfung eines Weißlichtinterferometers

Active Vibration Damping of a White Light Interferometer
Patrick Schäfer , Daniel Broschart and Jörg Seewig
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

In der Oberflächenmesstechnik sind mechanische Umgebungsschwingungen problematisch. Eine aktive Dämpfung von Messgeräten kann aus diesem Grund ein wichtiger Bestandteil für eine hohe Ergebnisgüte sein. Beispielhaft ist hier die praktische Umsetzung der Dämpfung eines Weißlichtinterferometers (WLI) vorgestellt. Als Referenzmessgerät dient ein Quadraturinterferometer (QI), welches die Schwingungen zwischen WLI-Messkopf und Messtisch aufzeichnet. Ein Regelalgorithmus nutzt diese Information um eine Stellgröße zu erzeugen, welche den WLI-Messkopf mit Hilfe eines Piezoelementes stabilisiert.

Abstract

Environmental vibrations are always problematic in surface metrology. For this reason an active damping of measurement setups is an important component for a high measurement quality. As an example the practical realization of the damping of a White Light Interferometer (WLI) is presented here. A quadrature interferometer (QI) serves as reference measurement device which detects the vibrations between the measurement head and the measurement table. A closed loop control algorithm uses this information and delivers an actuating signal for the stabilization of the measurement head by means of a piezoelectric element.


* Correspondence address: Technische Universität Kaiserslautern, Lehrstuhl für Messtechnik und Sensorik, Gottlieb-Daimler-Straße, Geb.: 44, Raum 218, 67663 Kaiserslautern, Deutschland,

Published Online: 2013-01-25
Published in Print: 2013-01

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany

Downloaded on 26.11.2022 from frontend.live.degruyter.dgbricks.com/document/doi/10.1524/teme.2013.0003/html
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