Abstract
In der vorliegenden Arbeit wird eine Heizapparatur vorgestellt, mit der dünne Polymerfolien in sehr kurzer Zeit aufgeschmolzen und während einer anschließenden Elektronenbestrahlung auf vorbestimmter Temperatur gehalten werden können. Hierzu wird die Konstruktion der Apparatur sowie die zugehörige Gerätetechnik vorgestellt, das Regelverhalten diskutiert und einige Testergebnisse von Aufschmelzvorgängen gezeigt. Ein weiterer Schwerpunkt sind Untersuchungen zum Einfluss der Bestrahlungsparameter auf das Regelverhalten der Apparatur während der Elektronenbestrahlung.
Abstract
In this paper a heating device is presented which allows to melt thin films very quickly and to keep at a predetermined temperature during a subsequent electron irradiation. The construction of the device and the techniques are presented; the regulation technology will be discussed and several test-results of melting-processes will be shown. A further emphasis are investigations of the influence of irradiation parameter on the regulation technology of the device during the electron irradiation.
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