Skip to content
Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by De Gruyter May 26, 2013

Bohrer für den Nanometerbereich

Mikrobearbeitung und Gefügedarstellung mit der Technik des fokussierten Ionenstrahls (FIB)

Microstructure Characterization by the Focussed Ion Beam (FIB) Technology
  • Werner Österle
From the journal Materials Testing

Kurzfassung

Im vorliegenden Beitrag werden die Highlights der FIB-Technology aus einer Vortragsreihe an der Bundesanstalt für Materialforschung und –prüfung (BAM) zusammengefasst. Sie bilden den aktuellen Stand der Technik der FIB-Methodik und Gerätetechnik ab. Hintergrund und Motivation war, dass die BAM-Abteilung V „Werkstofftechnik der Konstruktionswerkstoffe“ im Jahr 2002 eine FIB-Anlage installierte und damit eine der ersten Stellen in Deutschland ist, die diese Technik auf Fragestellungen des allgemeinen Maschinenbaus anwenden.

Summary

The present contribution summarizes the highlights of a symposium which took place on May 13th last year at the Federal Institute for Materials Research and Testing. It was motivated by the fact that a new FIB equipment has been installed at the Department V Material Engineering. BAM is one of the first places in Germany which applied this innovative technology on general mechanical engineering questions.


Werner Österle, geboren 1951, studierte Werkstoffwissenschaften in Stuttgart und Berlin und promovierte in Metallphysik bei Prof. Wever an der TU Berlin. 1981 kam er zur BAM und arbeitete dort zunächst im metallographischen Labor. Seit 1991 ist er Leiter des Labors für Elektronenmikroskopie. Seine Forschungsschwerpunkte sind Gefüge-Eigenschafts-Beziehungen bei Stählen und Nickelbasis Legierungen und Materialveränderungen an tribologischen Kontakten.


Literaturverzeichnis

1 Scope 10, Juli 1999, 10–1110.7748/paed.11.10.10.s12Search in Google Scholar

2 Lipp, S.; Dingle, T.: Micromachining using Focused Ion Beam Systems. mstnews, 3, (1999), S. 2021Search in Google Scholar

3 Young, R. J.: Micromachining using a focused ion beam. Vacuum, 44, (1993), S. 35335610.1016/0042-207X(93)90182-ASearch in Google Scholar

4 Zschech, E.; Langer, E.; Engelmann, H.-J.: Anwendung der Rasterelektronenmikroskopie und der Transmissionselektronenmikroskopie in der Halbleiterindustrie. Sonderbände der Praktischen Metallographie, 33, (2002), S. 2328Search in Google Scholar

5 Klocke, F.; Engelhorn, R.; Mayer, J.; Weirich, T.: Micro-analysis of the contact zone of tribologically loaded second-phase reinforced sol-gel-abrasives. CIRP Annals of Manufacturing Technology, 51 (1), (2002), S. 24525010.1016/S0007-8506(07)61509-1Search in Google Scholar

6 Milke, R.; Wirth, R.: The formation of columnar fiber texture in wollastonite rims by induced stress and implications for diffusion-controlled corona growth. Phys Chem Minerals, 30, (2003), S. 230242.10.1007/s00269-003-0304-8Search in Google Scholar

7 Österle, W.; Urban, I.: Friction Layers and Friction Films on PMC Brake Pads. Wear, eingereichtSearch in Google Scholar

Online erschienen: 2013-05-26
Erschienen im Druck: 2004-03-01

© 2004, Carl Hanser Verlag, München

Downloaded on 1.12.2023 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.3139/120.100573/html
Scroll to top button