Abstract
Preparation artifacts such as scratches, surface deformation and smearing are often difficult to remove by conventional grinding and polishing.
Vibratory polishing is a mechanical process. It provides a very gentle polishing treatment. This final preparation step provides for a removal of ground specimen surfaces without causing deformations. The sample surface was examined on the basis of different mechanical and chemical/mechanical preparation steps with regard to its suitability for subsequent examinations using a scanning electron microscope (for example EBSD measurements).
Kurzfassung
Präparationsartefakte wie Kratzer, Oberflächenverformung und Verschmierungen sind durch das konventionelle Schleifen und Polieren oft nur schwer zu beseitigen.
Das Vibrationspolieren ist ein mechanisches und sehr schonendes Polierverfahren. Mit diesem finalen Präparationsschritt lassen sich Schliffoberflächen verformungsfrei abtragen. Die Eignung der Probenoberfläche für weiterführende rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen wie z.B. EBSD-Messungen wurde in Abhängigkeit verschiedener mechanisch bzw. chemisch-mechanischer Präparationsschritte untersucht.
References / Literatur
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© 2012, Carl Hanser Verlag, München
