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Publicly Available Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag September 25, 2009

Deflektometrie macht der Interferometrie Konkurrenz Deflectometry Rivals Interferometry

  • Markus C. Knauer , Claus Richter , Odrej Hybl , Jürgen Kaminski , Christian Faber and Gerd Häusler
From the journal tm - Technisches Messen

Zusammenfassung

Die Deflektometrie ist eine in den letzten Jahren neu entwickelte Methode zur Vermessung glatter Oberflächen. Sie gestattet es, auch auf Freiformflächen Höhenvariationen im Nanometerbereich zu vermessen. Um die positiven Eigenschaften der Deflektometrie zu verstehen, betrachten wir die physikalischen Grenzen sowie informationstheoretische Aspekte. Abschließend wird die Vielseitigkeit der Deflektometrie anhand von Anwendungsbeispielen demonstriert.

Abstract

Deflectometry is a new method developed recently to measure specular surfaces. With this method we can measure local height variations in the nanometer regime on free-form surfaces. To understand the benefits of deflectometry we studied the physical limits and information theoretical aspects of the method. We eventually demonstrate the versatility of deflectometry by several possible applications.


* Correspondence address: Universität Erlangen-Nürnberg, Institut für Optik, Information und Photonik, Staudtstr. 7/B2, 91058 Erlangen, Deutschland,

Published Online: 2009-09-25
Published in Print: 2009-04

© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, München, Germany

Downloaded on 19.3.2024 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.2009.0933/html
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