J. Dong, A. Mehner, R. Gläbe, F. Hoffmann, P. Mayr, E. Brinksmeier
May 2, 2013
Abstract
Kurzfassung Einkristalline Diamantwerkzeuge sind für die Mikrozerspanung von Eisenbasis-Werkstoffen aufgrund des hohen chemischen Verschleißes nicht einsetzbar. Um die Diamantwerkzeuge vor dem chemischen Verschleiß zu schützen, können die Schneidwerkzeuge mit Hartstoffen beschichtet werden, sodass ein direkter Kontakt des Diamanten mit dem Werkstoff verhindert wird. In der vorliegenden Arbeit wurden TiN, TiAlN und AlN mittels des reaktiven Magnetron-Sputtern-Verfahrens auf Diamantwerkzeuge aufgebracht. Bei optimierten Prozessparametern wiesen die abgeschiedenen Schichten eine nahezu stöchiometrische, chemische Zusammensetzung, eine sehr glatte, feinkörnige Oberfläche, eine hohe Härte und gute Haftung auf. Die geringfügige Zunahme des Schneidkantenradius infolge der Beschichtungen ist für die Mikrozerspanung noch tolerierbar. Unter den Versuchsbedingungen wurde der Verschleiß der TiAlN-beschichteten Diamantwerkzeuge im Vergleich zu unbeschichteten Referenzdiamantwerkzeugen um bis zu 50% reduziert.