Search Results

You are looking at 1 - 3 of 3 items

  • Author: Claas Falldorf x
Clear All Modify Search

Abstract

In diesem Beitrag wird ein Interferometer auf Basis der digitalen Holografie vorgestellt, welches die Erfassung der Form und der Deformation reflektierender Mikrosysteme ermöglicht. Ein Schwerpunkt liegt hierbei auf dem Modell zur Rückführung der Geometriedaten aus den gemessenen Phasenverteilungen. Die Ergebnisse lassen sich so in metrische Einheiten überführen und dienen damit als Grundlage zum Vergleich mit numerischen Modellrechnungen.

Die Formerfassung und die Ermittlung der unter thermischer Belastung auftretenden Verschiebungen werden beispielhaft an einer Testkomponente aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik demonstriert. Im Bereich der Verschiebungsmessung können die vorteilhaften Eigenschaften der digitalen Holografie genutzt werden, um zwischen den Messungen auftretende Ganzkörperverschiebungen der Belastungseinheit in Richtung der optischen Achse zu kompensieren.

In diesem Beitrag wird ein neuartiges Messverfahren auf interferometrischer Basis vorgestellt, um den Zustand eines in die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes eingebrachten optischen Gitters mithilfe der Digitalen Holografie auszuwerten. Die neue Messtechnik erlaubt die Bestimmung von Verschiebungskomponenten senkrecht bzw. parallel zur untersuchten Oberfläche und bietet gleichzeitig interferometrische Genauigkeit. Da das eingeschriebene optische Gitter wie ein passiver Sensor wirkt, eignet sich das Verfahren besonders zur Langzeitüberwachung von polymeren Mikrokomponenten.

Zusammenfassung

Wir zeigen den Vergleich zweier interferometrischer Verfahren zur Formprüfung anhand einer Messung an einer Zylinderlinse. Das erste Verfahren, die Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), basiert auf der Messung der Kohärenzfunktion mittels eines Scher-Interferometers. Es erlaubt interferometrische Messungen unter gleichzeitiger Verwendung mehrerer unabhängiger und teilkohärenter Lichtquellen, und ermöglicht so eine flexible, an den Prüfling anpassbare Ausleuchtung. Als Vergleichsverfahren kommt die Computational Shear Interferometry (CoSI) zur Messung von Wellenfronten zum Einsatz. Da beide Messverfahren auf einem Scher-Interferometer basieren, ist ein direkter Vergleich unter identischen Umgebungsbedingungen möglich.