Hegner, F.. "Druckaufnehmer in Dünnschichttechnik mit planarer Federstruktur/ Thin film pressure sensor with a planar elastic element"
tm - Technisches Messen, vol. 52, no. 10, 1985, pp. 378-382.
https://doi.org/10.1524/teme.1985.52.10.378
Hegner, F. (1985). Druckaufnehmer in Dünnschichttechnik mit planarer Federstruktur/ Thin film pressure sensor with a planar elastic element.
tm - Technisches Messen,
52(10), 378-382.
https://doi.org/10.1524/teme.1985.52.10.378
Hegner, F. (1985) Druckaufnehmer in Dünnschichttechnik mit planarer Federstruktur/ Thin film pressure sensor with a planar elastic element. tm - Technisches Messen, Vol. 52 (Issue 10), pp. 378-382.
https://doi.org/10.1524/teme.1985.52.10.378
Hegner, F.. "Druckaufnehmer in Dünnschichttechnik mit planarer Federstruktur/ Thin film pressure sensor with a planar elastic element"
tm - Technisches Messen 52, no. 10 (1985): 378-382.
https://doi.org/10.1524/teme.1985.52.10.378
Hegner F. Druckaufnehmer in Dünnschichttechnik mit planarer Federstruktur/ Thin film pressure sensor with a planar elastic element.
tm - Technisches Messen. 1985;52(10): 378-382.
https://doi.org/10.1524/teme.1985.52.10.378
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