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Licensed Unlicensed Requires Authentication Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag October 1, 1985

Druckaufnehmer in Dünnschichttechnik mit planarer Federstruktur/ Thin film pressure sensor with a planar elastic element

  • F. Hegner
From the journal tm - Technisches Messen
Online erschienen: 1985-10
Erschienen im Druck: 1985-10

© 2014 Oldenbourg Wissenschaftsverlag GmbH, Rosenheimer Str. 145, 81671 München

Downloaded on 19.3.2024 from https://www.degruyter.com/document/doi/10.1524/teme.1985.52.10.378/html
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