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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard

12 Issues per year


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2196-7113
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Messtechnische Grundlagen zur Inspektion von Mikrokomponenten mittels Digitaler Holografie (The Metrological Basis for the Inspection of Microcomponents by Digital Holography)

Wolfgang Osten / S. Seebacher / Th. Baumbach / Werner Jüptner
Published Online: 2009-09-25 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2001.68.2.68

Die Charakterisierung von Materialien zählt zu den vorrangigen Aufgaben bei der Entwicklung von neuen Erzeugnissen der Mikrosystemtechnik. Optische Messtechniken weisen wesentliche Vorteile auf, die sie für eine Inspektion von Mikrokomponenten prädestinieren: hohe Messempfindlichkeit und Genauigkeit, Rückwirkungs- und Zerstörungsfreiheit gegenüber dem Messobjekt, sehr kurze Antwortzeiten und feldweise Messwerterfassung. Insbesondere die Methode der Digitalen Holografie und die darauf basierenden digitalen Messtechniken (holografische Interferometrie, holografische Topometrie) liefern einen eleganten Zugang zu 3D-Form- und Verformungsdaten kleiner Objekte mit interferometrischer Auflösung. Der Beitrag behandelt die physikalisch-mathematischen Grundlagen der Digitalen Holografie und schafft so die Voraussetzung für die Entwicklung einer neuen Generation von Inspektionssystemen zur Charakterisierung der Materialeigenschaften von Mikrokomponenten.

The characterization of the materials of microcomponents is a very important step for the introduction of new products of microsystems technology. Optical measurement techniques provide important advantages which make them attractive for the investigation of microcomponents. These are the high measurement sensitivity and accuracy, their non-tactile operation and short response potential, the fieldwise working principle, and the high resolution of data. Especially Digital Holography and the related digital measurement techniques (holographic interferometry and contouring) represent an elegant approach to the measurement of 3D-coordinates and displacements of small components. The paper deals with the basics of Digital Holography and describes the metrological requisites of a new generation of measurement systems for the characterization of the materials behavior of microcomponents.

About the article

Published Online: 2009-09-25

Published in Print: 2001-02-01


Citation Information: tm – Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, Volume 68, Issue 2/2001, Pages 68–, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2001.68.2.68.

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Johan Regin, Engelbert Westkämper, Sven Schröder, Andreas Tünnermann, Angela Duparré, Martin Ritter, Andreas Staude, Jürgen Goebbels, Axel Kranzmann, Philipp Krämer, Albert Weckenmann, Jan Zimmermann, Oliver Sawodny, Wolfram Lyda, and Wolfgang Osten
tm - Technisches Messen, 2008, Volume 75, Number 5/2008

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