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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard


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2196-7113
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Bewertung von Nanorauheiten durch Streulichtmessung (Nano-roughness Assessment by Light Scattering Measurement)

Sven Schröder / Angela Duparré / Andreas Tünnermann
Published Online: 2009-09-25 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2006.73.1.35

Abstract

Die stürmischen Entwicklungen in der Nanotechnologie ziehen neuartige Anforderungen an eine produktionsumfeldgerechte Messtechnik nach sich. Ein Schwerpunkt dabei sind Mess- und Auswerteverfahren zur Bestimmung von Rauheits- und funktionsbezogenen Kenngrößen. Streulichtbasierte Verfahren bieten dafür besonders vorteilhafte Voraussetzungen. Die Grundlagen und Konzepte für eine fertigungsrelevante Umsetzung werden im Rahmen des DFG-Schwerpunktprogramms SPP 1159 im Teilprojekt „NanoStreu” untersucht.

Abstract

The tremendous development in the field of nanotechnologies results in novel challenges for industry-tailored measurement techniques. This in particular holds for methods to determine roughness as well as functional parameters. Light scattering techniques involve major benefits to meet these requirements. The basics and concepts for their adaptation to close-to-process measurement are investigated in the project NanoScatt, part of the DFG priority programme SPP 1159.

Keywords: Nanostructure; metrology; light scattering; roughness; functional surfaces

About the article

Published Online: 2009-09-25

Published in Print: 2006-01-01


Citation Information: tm - Technisches Messen, Volume 73, Issue 1/2006, Pages 35–42, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2006.73.1.35.

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[1]
Peter Bakucz, Rolf Krüger-Sehm, Sven Schröder, Angela Duparré, and Andreas Tünnermann
tm - Technisches Messen, 2008, Volume 75, Number 5/2008
[2]
Johan Regin, Engelbert Westkämper, Sven Schröder, Andreas Tünnermann, Angela Duparré, Martin Ritter, Andreas Staude, Jürgen Goebbels, Axel Kranzmann, Philipp Krämer, Albert Weckenmann, Jan Zimmermann, Oliver Sawodny, Wolfram Lyda, and Wolfgang Osten
tm - Technisches Messen, 2008, Volume 75, Number 5/2008

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