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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard

12 Issues per year


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ISSN
2196-7113
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Volume 76, Issue 4

Issues

Micro-Mirror-Arrays (MMA) zur Auflösungserhöhung von Oberflächenformvermessungen
Micro-Mirror-Arrays (MMA) Used to Improve the Resolution of Surface Shape Measurements

Nadine Werth / Alexander W. Koch
Published Online: 2009-09-25 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2009.0931

Zusammenfassung

Die Form von optisch rauen Oberflächen lässt sich mit Hilfe von Speckle-Interferometern aus variabler Messdistanz selbst in schwer zugänglichen Regionen präzise vermessen. Durch die Einbindung eines Micro-Mirror-Arrays wurde erstmals versucht, die Phasenfront der Referenzwelle variabel an messtechnisch kritische Oberflächenbereiche zu adaptieren, um die bisherigen Grenzen der Auflösbarkeit zu überwinden. Im Rahmen dieser Publikation werden erste Messresultate vorgestellt.

Abstract

The profiles of optically rough surfaces can be measured with high precision even in areas difficult to access by means of speckle interferometry from a flexible measuring distance. To overcome previous resolution limits the phase front of the reference beam can variably be adapted to critical areas by embedding a micro-mirror-array. This paper presents first measurement results.

Keywords: micro mirror array; speckle interferometry; shape measurement; two-wavelength technique; phase shifting

About the article

* Correspondence address: Technische Universität München, Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik, 80290 München,


Published Online: 2009-09-25

Published in Print: 2009-04-01


Citation Information: tm - Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, Volume 76, Issue 4, Pages 182–188, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2009.0931.

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