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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard

12 Issues per year


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ISSN
2196-7113
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Volume 76, Issue 4 (Apr 2009)

Issues

Deflektometrie macht der Interferometrie Konkurrenz
Deflectometry Rivals Interferometry

Markus C. Knauer / Claus Richter
  • 1 Universität Erlangen-Nürnberg, Institut für Optik, Information und Photonik, Erlangen, Deutschland
/ Odrej Hybl
  • 2 Universität Erlangen-Nürnberg, Institut für Optik, Information und Photonik, Erlangen, Deutschland
/ Jürgen Kaminski
  • 3 Universität Erlangen-Nürnberg, Institut für Optik, Information und Photonik , Erlangen, Deutschland
/ Christian Faber
  • 4 Universität Erlangen-Nürnberg, Institut für Optik, Information und Photonik , Erlangen, Deutschland
/ Gerd Häusler
  • 5 Universität Erlangen, Institut für Optik, Information und Photonik , Erlangen, Deutschland
Published Online: 2009-09-25 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2009.0933

Zusammenfassung

Die Deflektometrie ist eine in den letzten Jahren neu entwickelte Methode zur Vermessung glatter Oberflächen. Sie gestattet es, auch auf Freiformflächen Höhenvariationen im Nanometerbereich zu vermessen. Um die positiven Eigenschaften der Deflektometrie zu verstehen, betrachten wir die physikalischen Grenzen sowie informationstheoretische Aspekte. Abschließend wird die Vielseitigkeit der Deflektometrie anhand von Anwendungsbeispielen demonstriert.

Abstract

Deflectometry is a new method developed recently to measure specular surfaces. With this method we can measure local height variations in the nanometer regime on free-form surfaces. To understand the benefits of deflectometry we studied the physical limits and information theoretical aspects of the method. We eventually demonstrate the versatility of deflectometry by several possible applications.

Keywords: deflectometry; optical measuring technique; surface measurement; specular surface; free form surface

About the article

* Correspondence address: Universität Erlangen-Nürnberg, Institut für Optik, Information und Photonik, Staudtstr. 7/B2, 91058 Erlangen, Deutschland,


Published Online: 2009-09-25

Published in Print: 2009-04-01


Citation Information: tm - Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2009.0933.

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