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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard


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ISSN
2196-7113
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Volume 77, Issue 2

Issues

Analyse des Übertragungsverhaltens von Differenzdrucksensoren durch dynamische Druckkalibrierung
Analyzing Frequency Response of Differential Pressure Sensors by Dynamic Pressure Calibration

Timo Kober / Stefan Sindlinger / Roland Werthschützky
  • 2 Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Darmstadt, Deutschland
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Published Online: 2010-04-19 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2010.0013

Zusammenfassung

Stand der Technik bei Differenzdrucksensoren für die Prozessmesstechnik ist ein Nennmessbereich von ΔpN=10 mbar bei einem statischen Nenndruck bis pStat=160 bar. Dabei wird eine Messunsicherheit ≤2×10-3 angestrebt. Drucksensoren für raue Umgebungsbedingungen, deren Verformungskörper aus Silizium besteht, benötigen metallische Trennmembranen zur Medientrennung. Zum Schutz des Meßelementes vor zu hoher statischer und dynamischer Druckbelastung werden spezielle mechanische Überlastschutzvorrichtungen verwendet. Um zuverlässige Überlastschutzsysteme zu entwickeln, wird deren Frequenzcharakteristik experimentell durch eine neuartige dynamische Druckquelle ermittelt.

Abstract

The state of the art differential pressure sensors for process instrumentation is characterized by a nominal measuring range of ΔpN=10 mbar at a nominal static pressure of pStat=160 bar and an uncertainty of measurement ≤2×10-3. Environmentally robust pressure sensors based on silicon deformation bodies require static and dynamic overload protections as well as metallic media separation diaphragms. With adapted electromechanical network topology analysis the amplitude and phase response is estimated for differential pressure sensors. For developing reliable overload protection systems and determining the nominal frequency range the dynamic amplitude and phase responses, tested by a dynamic pressure source, are essential.

Keywords: pressure sensor; differential pressure; dynamic pressure calibration

About the article

* Correspondence address: TU Darmstadt, Institut für EMK, Merckstr. 25, 64283 Darmstadt,


Published Online: 2010-04-19

Published in Print: 2010-02-01


Citation Information: tm - Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, Volume 77, Issue 2, Pages 83–88, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2010.0013.

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