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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard

12 Issues per year


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ISSN
2196-7113
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Volume 78, Issue 10 (Oct 2011)

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Strahler-Empfänger-Baugruppen zur Messung von Streulicht — eine Alternative zu Partikelzählern?

Ralf Müller / Olaf Brodersen
Published Online: 2011-10-26 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2011.0144

Zusammenfassung

Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme (MOEMS) setzen sich in der Sensorik immer mehr durch. In diesem Zusammenhang werden planare Strahler-Empfänger-Baugruppen mit Siliziumfotodioden, vertikal emittierendem Laser und integrierter Mikrooptik zur Messung von Partikelanzahlkonzentrationen in Flüssigkeiten vorgestellt. Zwei unterschiedliche Varianten des Sensors, mit und ohne Mikrooptik zur Formung der Primärstrahlung, werden miteinander verglichen. In dieser Arbeit wird durch Experimente gezeigt, dass für die Anordnung mit Mikrooptik eine deutlich verbesserte Sensitivität erreicht werden kann.

Abstract

Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems (MOEMS) become widely accepted in sensor technology. In this context planar emitter-receiverdevices with silicon photodiodes vertical emitting laser, and integrated micro-optics to measure the concentration of particles in fluids are presented. Two different variations of the sensor, with and without micro-optics to shape the primary light, are compared. The arrangements with integrated micro-optics achieve a clearly increased sensitivity. This is demonstrated by experiments.

Keywords: optic-electronic sensor; particle measurement; turbidity measurement; subsurface scattering; micro-optics

About the article

* Correspondence address: CiS Institut für Mikrosensorik GmbH, Konrad-Zuse-Str. 14, 99099 Erfurt,


Published Online: 2011-10-26

Published in Print: 2011-10-01


Citation Information: tm - Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2011.0144.

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[1]
Meike Hofmann, Ralf Müller, Sebastian Stoebenau, Thomas Stauden, Olaf Brodersen, and Stefan Sinzinger
Applied Optics, 2012, Volume 51, Number 32, Page 7800

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