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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard


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ISSN
2196-7113
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Volume 78, Issue 3

Issues

Herausforderungen und Grenzen der interferometrischen Präzisionsmesstechnik

Gerd Jäger
Published Online: 2011-02-22 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2011.0122

Zusammenfassung

Die Prinzipien, die Grundlagen und die Arbeitsweise von Zweifrequenz- und Einfrequenz-Interferometern werden beschrieben. Auf der Grundlage einer messtechnischen Analyse werden die Vorteile aber auch die Grenzen der laserinterferometrischen Messverfahren dargestellt. Die Ermittlung des kleinsten auflösbaren Weginkrements erlaubt die Berechnung der Auflösung von Interferometern. Neben den Abbé-Fehlern werden weitere Einflüsse aufgeführt, welche sich auf die Messunsicherheit interferometrischer Längenmessungen auswirken. Eine 3D-Abbéfehlerfreie Anordnung wird am Beispiel einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine erläutert. Diese Maschine wurde in Zusammenarbeit zwischen dem Institut für Prozessmess- und Sensortechnik und der SIOS Messtechnik GmbH entwickelt.

Abstract

The most important principle, the basis and operation of heterodyne and homodyne interferometers are discussed. Their benefits and limitations are covered based on a metrological analysis. The resolution of interferometers can be determined by calculating the smallest resolvable distance increment. An Abbé-error-free design is explained using interferometers by means of a nanopositioning and nanomeasuring machine developed at the Institute of Process Measurement and Sensor Technology (Ilmenau University of Technology) and manufactured at the SIOS Messtechnik GmbH Ilmenau, Germany.

Keywords: heterodyne and homodyne interferometers; metrological analysis; Abbé-error free design; nanopositioning and nanomeasuring machine

About the article

* Correspondence address: Technische Universität Ilmenau, Institut Prozessmess- und Sensortechnik, Postfach 100565, 98684 Ilmenau,


Published Online: 2011-02-22

Published in Print: 2011-03-01


Citation Information: tm - Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, Volume 78, Issue 3, Pages 114–117, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2011.0122.

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© by Oldenbourg Wissenschaftsverlag, Ilmenau, Germany.Get Permission

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