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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard


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ISSN
2196-7113
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Volume 79, Issue 7-8

Issues

Piezoresistive Dehnungsmesselemente für adaptronische Systeme

Jacqueline Rausch / Roland Werthschützky
  • 1 Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Darmstadt, Deutschland
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/ Larisa Salun / Stefan Griesheimer
Published Online: 2012-08-08 | DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2012.0240

Zusammenfassung

Es werden zwei Sensortechnologien für den Einsatz zur Dehnungsmessung in adaptronischen Systemen vorgestellt. Inhomogen dotierte, piezoresistive Siliziumelemente und gedruckte Sensorschichten werden hinsichtlich ihrer Sensoreigenschaften verglichen. Die zum Verständnis nötigen Grundlagen beider Sensortechnologien werden erläutert. Neben dem statischen Übertragungsverhalten wird auch das Rauschen der Sensoren untersucht.

Abstract

Two sensing technologies for realizing strain sensors, which can be integrated into adaptronic systems, are presented. Inhomogeniously doped silicon chips based on the piezoresistive principle and printed strain sensors are compared. The operating mode of each sensor type is explained. The static characteristics and the noise as one of the main internal error sources are discussed.

Keywords: adaptronics; smart systems; piezoresistivity; strain sensing

About the article

* Correspondence address: TU Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen, Merckstraße 25, 64283 Darmstadt,


Published Online: 2012-08-08

Published in Print: 2012-08-01


Citation Information: tm - Technisches Messen Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik, Volume 79, Issue 7-8, Pages 366–373, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1524/teme.2012.0240.

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