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tm - Technisches Messen

Plattform für Methoden, Systeme und Anwendungen der Messtechnik

[TM - Technical Measurement: A Platform for Methods, Systems, and Applications of Measurement Technology
]

Editor-in-Chief: Puente León, Fernando / Zagar, Bernhard

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ISSN
2196-7113
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Volume 81, Issue 7-8 (Aug 2014)

Issues

Filterung der Ratenmesswerte einer Quarz-Mikrowaage für geschaltete Effusionszellen

Filtering measurement values of a quartz microbalance for a switched effusion cell

Christoph Zeuke / Richard Scheicher / Herbert Jenik / Gerhard Fischerauer
Published Online: 2014-07-28 | DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2014-1036

Zusammenfassung

Bei der Fertigung von organischen LEDs (OLEDs) werden einzelne Schichten mit geschalteten Effusionszellen aufgedampft. Die zu messenden Raten liegen im Bereich der minimalen Auflösung des Messsystems. Aufgrund der hohen Empfindlichkeit treten viele Messausreißer und ein großes Rauschen auf. Herkömmliche systemtheoretisch beschreibbare Filter stoßen hier an ihre Grenzen. Eine große Zeitkonstante glättet zwar das Signal, jedoch auf Kosten der Dynamik. Das hier vorgeschlagene statistische Filter erkennt Messausreißer und glättet den Signalverlauf, ohne wesentliche Informationen an den Schaltflanken zu verlieren.

Abstract

In order to produce an organic LED (OLED) different layers are deposited by switched effusion cells. The measured values are near the resolution of the measurement system. Owing to the high sensitivity of the system, the measurement signal is corrupted by many outliers and a lot of noise. State-of-the-art filters are limited in their ability to filter such a signal. An increased time constant would smooth the signal but at the expense of the dynamics. The statistic filter proposed here detects outliers and smoothes the signal with only negligible loss of information at the switching edges.

Schlagwörter: Statistisches Filter; Signalverarbeitung; Quarz-Mikrowaage

Keywords: Statistic filter; signal processing; quartz microbalance

About the article

Christoph Zeuke

Christoph Zeuke ist Entwicklungsingenieur im Bereich Sondermaschinenbau der OSRAM GmbH mit Schwerpunkt Mess- und Regelungstechnik.

OSRAM GmbH, Berliner Allee 65, D-86153 Augsburg

Richard Scheicher

Richard Scheicher ist Projektleiter und Prozessingenieur für Beschichtungs- und Microdosierungsaufgaben der OSRAM GmbH.

OSRAM GmbH, Berliner Allee 65, D-86153 Augsburg

Herbert Jenik

Herbert Jenik ist Leiter der Abteilung Systems and Controls des Sondermaschinenbaus der OSRAM GmbH.

OSRAM GmbH, Berliner Allee 65, D-86153 Augsburg

Gerhard Fischerauer

Gerhard Fischerauer ist Inhaber des Lehrstuhls für Mess- und Regeltechnik der Universität Bayreuth.

Universität Bayreuth, D-95440 Bayreuth


Accepted: 2014-05-13

Received: 2013-10-30

Published Online: 2014-07-28

Published in Print: 2014-08-28


Citation Information: tm - Technisches Messen, ISSN (Online) 2196-7113, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: https://doi.org/10.1515/teme-2014-1036.

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